特許

J-GLOBAL ID：201403048099209788

半導体装置及び半導体装置の製造方法

発明者： 長里 喜隆
出願人/特許権者： トヨタ自動車株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人快友国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-280949
公開番号（公開出願番号）：特開2014-127494
出願日： 2012年12月25日
公開日（公表日）： 2014年07月07日
要約：

【課題】 半導体装置の体格の増大を抑制することができる技術を提供する。【解決手段】 本明細書が開示する半導体装置は、ドレイン領域56とソース領域54とを分離している第2導電型の第1半導体領域2と、ゲート絶縁膜4と、を備えている。その半導体装置は、ゲート電極6とソース電極48との間に位置し、ゲート電極6の側面を覆っている絶縁体領域26を備えている。その半導体装置は、ゲート電極6とソース電極48との間に位置すると共にゲート絶縁膜4と絶縁体領域26との間に位置する第2半導体領域20を備えている。第2半導体領域20では、第1導電型領域16がゲート電極6に接続されていると共に、第2導電型領域18がソース電極48に接続されている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

第1導電型のソース領域と、 第1導電型のドレイン領域と、 ソース領域に接続されているソース電極と、 ドレイン領域に接続されているドレイン電極と、 ドレイン領域とソース領域とを分離している第2導電型の第1半導体領域と、 ドレイン領域とソース領域を分離している範囲の第1半導体領域に対向しているゲート電極と、 ゲート電極と第1半導体領域との間に位置し、ゲート電極と第1半導体領域とを絶縁しているゲート絶縁膜と、 ゲート電極とソース電極との間に位置し、ゲート電極の側面を覆っている絶縁体領域と、 ゲート電極とソース電極との間に位置すると共にゲート絶縁膜と絶縁体領域との間に位置し、ゲート絶縁膜によって第1半導体領域から絶縁されている第2半導体領域と、 を備え、 第2半導体領域は、互いにpn接合している第1導電型領域及び第2導電型領域を有し、 第1導電型領域がゲート電極に接続されていると共に、第2導電型領域がソース電極に接続されている半導体装置。

IPC (13件)：

H01L 21/336 ,  H01L 29/78 ,  H01L 27/04 ,  H01L 21/822 ,  H01L 27/115 ,  H01L 21/824 ,  H01L 29/788 ,  H01L 29/792 ,  H01L 29/417 ,  H01L 29/41 ,  H01L 29/49 ,  H01L 29/423 ,  H01L 27/06

FI (8件)：

H01L29/78 301K ,  H01L27/04 H ,  H01L27/10 434 ,  H01L29/78 371 ,  H01L29/50 M ,  H01L29/44 L ,  H01L29/58 G ,  H01L27/06 311B

Fターム (83件)：

4M104AA01 ,  4M104BB01 ,  4M104BB20 ,  4M104BB25 ,  4M104CC01 ,  4M104CC05 ,  4M104DD04 ,  4M104EE03 ,  4M104FF14 ,  4M104FF26 ,  4M104GG02 ,  4M104GG09 ,  4M104HH20 ,  5F038BH05 ,  5F038BH07 ,  5F038BH13 ,  5F038EZ15 ,  5F038EZ20 ,  5F048AA02 ,  5F048AB01 ,  5F048AC10 ,  5F048BA01 ,  5F048BB05 ,  5F048BB08 ,  5F048BB12 ,  5F048BC06 ,  5F048BF15 ,  5F048BF16 ,  5F048CC06 ,  5F048CC15 ,  5F048CC18 ,  5F048DA25 ,  5F083EP02 ,  5F083EP23 ,  5F083EP63 ,  5F083EP68 ,  5F083ER03 ,  5F083ER09 ,  5F083ER14 ,  5F083ER19 ,  5F083ER21 ,  5F083GA09 ,  5F083GA24 ,  5F083GA27 ,  5F083JA35 ,  5F083JA39 ,  5F083JA53 ,  5F083MA04 ,  5F083MA06 ,  5F083MA16 ,  5F083MA19 ,  5F083NA03 ,  5F101BA01 ,  5F101BA17 ,  5F101BB05 ,  5F101BB08 ,  5F101BC02 ,  5F101BD02 ,  5F101BD36 ,  5F101BE02 ,  5F101BE05 ,  5F101BE06 ,  5F101BF09 ,  5F140AA25 ,  5F140AA39 ,  5F140AB06 ,  5F140AC32 ,  5F140BA01 ,  5F140BF04 ,  5F140BF11 ,  5F140BF18 ,  5F140BF60 ,  5F140BG08 ,  5F140BG12 ,  5F140BG38 ,  5F140BH14 ,  5F140BH47 ,  5F140BJ08 ,  5F140BJ27 ,  5F140BK02 ,  5F140BK13 ,  5F140CB08 ,  5F140DA01