特許
J-GLOBAL ID：201403048122463468
荷電粒子線装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 学
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-286606
公開番号（公開出願番号）：特開2013-080723
特許番号：特許第5435120号
出願日： 2012年12月28日
公開日（公表日）： 2013年05月02日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 荷電粒子源と、
当該荷電粒子源から放出される荷電粒子線を調節する光学素子と、
当該光学素子に対して軸調整を行うアライメント偏向器を備えた荷電粒子線装置において、
前記光学素子の条件を少なくとも2つに変化する手段と、
前記アライメント偏向器の条件を少なくとも2つの状態に変化させたときに、それぞれのアライメント偏向条件にて、前記光学素子の条件を変化させたときに得られる2つの画像のパターン間のずれを検出する手段と、
前記少なくとも2つのずれの入力に基づいて、アライメント偏向器の状態を示す係数を求め、当該係数とアライメント偏向器の条件との関係を示す演算式を用いた演算によって、アライメント偏向器の偏向条件を求め、当該演算によって求められたアライメント偏向器の偏向条件を用いて、前記アライメント偏向器を調整する手段を備えたことを特徴とする荷電粒子線装置。
IPC (2件)：
H01J 37/04 ( 200 6.01)
, H01J 37/147 ( 200 6.01)
H01J 37/04 B
, H01J 37/147 B
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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