特許
J-GLOBAL ID：201403049032135581
波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
上柳 雅誉
, 宮坂 一彦
, 渡辺 和昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-257156
公開番号（公開出願番号）：特開2014-106269
出願日： 2012年11月26日
公開日（公表日）： 2014年06月09日
要約：
【課題】反射膜間の寸法を小さくした場合でも、反射膜同士の接触を抑制可能な波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器を提供する。【解決手段】波長可変干渉フィルター5は、固定基板51と、可動基板52と、固定基板51に設けられる固定反射膜54と、可動基板52に設けられ、固定反射膜54に対向する可動反射膜55と、を備え、固定基板51は、反射膜設置面512Aと、反射膜設置面512Aの外周を囲う電極配置溝511と、を有し、固定反射膜54は、反射膜設置面512Aから電極配置溝511に亘って設けられている。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
第一基板と、
前記第一基板に対向して配置された第二基板と、
前記第一基板に設けられ、入射光の一部を反射し一部を透過する第一反射膜と、
前記第二基板に設けられ、前記第一反射膜に対向し、入射光の一部を反射し一部を透過する第二反射膜と、を備え、
前記第一基板は、前記第二基板に対向する第一平面部、及び前記第一基板及び前記第二基板を基板厚み方向から見た平面視において前記第一平面部の外周を囲う溝部を有し、
前記第一反射膜は、前記第一平面部、及び少なくとも前記溝部の一部の領域に連続して設けられた
ことを特徴とする波長可変干渉フィルター。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (16件)：
2H141MA22
, 2H141MB28
, 2H141MC06
, 2H141MD02
, 2H141MG00
, 2H141MZ19
, 2H141MZ28
, 2H141MZ30
, 3C081BA28
, 3C081BA45
, 3C081BA48
, 3C081BA53
, 3C081CA05
, 3C081CA15
, 3C081CA32
, 3C081EA08
