特許
J-GLOBAL ID：201403049198184068
表面改質方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-041865
公開番号（公開出願番号）：特開2014-169204
出願日： 2013年03月04日
公開日（公表日）： 2014年09月18日
要約：
【課題】着色剤を使用することなく、表面改質によってジルコニア強化アルミナセラミックスの表面を黒艶色にすること。【解決手段】密閉されたチャンバ1の中の上側に所定の断面積を有するカソード電極5Aを配置する。ジルコニア強化アルミナセラミックスの被照射体6をカソード電極5Aの直下の鉛直方向に所定距離d離れた位置に配設する。チャンバ1の中を減圧してカソード電極5Aと被照射体6との間に設けられる円環形状のアノード電極5Bの中に所定の圧力の希ガスを供給してプラズマを生成する。アノード電極5Bの円環の中にプラズマが生じている状態でカソード電極5Aに20kV以上の電圧を印加するとともにソレノイドに1.0kV以上の電圧を供給して、被照射体6の所定の被照射面に所定回数繰返し電子ビームを照射する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
密閉されたチャンバの中の上側に所定の断面積を有するカソード電極を配置し、ジルコニア強化アルミナセラミックスの被照射体を前記カソード電極の直下の鉛直方向に所定距離離れた位置に配設して、前記チャンバの中を減圧して前記カソード電極と前記被照射体との間に設けられる円環形状のアノード電極の中にプラズマを生成するために供給されている希ガスのガス圧を所定の圧力に保持した状態で前記カソード電極に20kV以上の電圧を印加するとともにソレノイドに1.0kV以上の電圧を供給し、前記被照射体の所定の被照射面に所定回数繰返し電子ビームを照射する表面改質方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
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