特許

J-GLOBAL ID：201403049396877273

ターゲット供給装置

発明者： 梅田 博 ,  小原 孝志 ,  若林 理
出願人/特許権者： ギガフォトン株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人樹之下知的財産事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-254186
公開番号（公開出願番号）：特開2014-102980
出願日： 2012年11月20日
公開日（公表日）： 2014年06月05日
要約：

【課題】絶縁破壊の発生を防止し得る、またはターゲット物質を適切に出力し得るターゲット供給装置を提供すること。【解決手段】ターゲット供給装置は、ノズルを備えたタンクと、第1貫通孔が設けられた第1電極と、第2貫通孔が設けられた第2電極と、前記タンク内部に設置された第3電極と、前記ノズルと前記第1電極との間の絶縁、前記ノズルと前記第2電極との間の絶縁、および、前記第1電極と前記第2電極との間の絶縁を維持するように、かつ、前記ノズルの中心軸が前記第1貫通孔内および前記第2貫通孔内に位置するように前記タンクと前記第1電極と前記第2電極とを固定する固定部と、前記第1電極と前記第2電極のうち少なくとも一方と一体的であって、前記ノズルに近づく方向に突起する第1突起部と、前記第1電極と前記第2電極のうち少なくとも第2電極と一体的であって、前記第1電極と前記第2電極との間に位置するように突起する第2突起部と、を備えてもよい。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

ノズルを備えたタンクと、 第1貫通孔が設けられた第1電極と、 第2貫通孔が設けられた第2電極と、 前記タンク内部に設置された第3電極と、 前記ノズルと前記第1電極との間の絶縁、前記ノズルと前記第2電極との間の絶縁、および、前記第1電極と前記第2電極との間の絶縁を維持するように、かつ、前記ノズルの中心軸が前記第1貫通孔内および前記第2貫通孔内に位置するように前記タンクと前記第1電極と前記第2電極とを固定する固定部と、 前記第1電極と前記第2電極のうち少なくとも一方と一体的であって、前記ノズルに近づく方向に突起する第1突起部と、 前記第1電極と前記第2電極のうち少なくとも第2電極と一体的であって、前記第1電極と前記第2電極との間に位置するように突起する第2突起部と、を備えるターゲット供給装置。

IPC (2件)：

H05G 2/00 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

H05G1/00 K ,  H01L21/30 531S

Fターム (7件)：

4C092AA06 ,  4C092AC09 ,  4C092BD01 ,  4C092BD18 ,  5F146GA21 ,  5F146GC12 ,  5F146GC13

引用特許：

審査官引用 (4件)

• ターゲット供給装置及び極端紫外光生成装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2011-288039   出願人：ギガフォトン株式会社
• 特開昭58-137943
  
• 特開昭58-137943
  
• 特開昭58-158843