特許

J-GLOBAL ID：201403049497177078

洗浄装置およびそれを含む薄膜太陽電池の製造装置

発明者： 国江 明守
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人深見特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-160471
公開番号（公開出願番号）：特開2014-018746
出願日： 2012年07月19日
公開日（公表日）： 2014年02月03日
要約：

【課題】洗浄装置における付着物の除去性能を向上する。【解決手段】基板2の上面と接触する拭き取り部材110と、拭き取り部材110と基板2の上面とを互いに接触させた状態で相対的に移動させる駆動機構120とを備える。拭き取り部材110は、基板2の上面と接触する拭き取り面にエッジ111eを有する凹部111を含み、駆動機構120により基板2に対して相対的に移動させられることによってエッジ111eで異物20を除去する。【選択図】図11

請求項（抜粋）：

上面の周縁部の内側に薄膜太陽電池が形成された基板の該周縁部に付着した異物を除去する洗浄装置であって、 前記基板の前記上面と接触する拭き取り部材と、 前記拭き取り部材と前記基板の前記上面とを互いに接触させた状態で相対的に移動させる駆動機構と を備え、 前記拭き取り部材は、前記基板の前記上面と接触する拭き取り面にエッジを有する凹部を含み、前記駆動機構により前記基板に対して相対的に移動させられることによって前記異物を除去する、洗浄装置。

IPC (2件)：

B08B 1/02 ,  H01L 31/06

FI (3件)：

B08B1/02 ,  H01L31/04 E ,  H01L31/04 B

Fターム (21件)：

3B116AA02 ,  3B116AB13 ,  3B116BA03 ,  3B116BA08 ,  3B116BA23 ,  3B116BA34 ,  3B116CD43 ,  5F151AA05 ,  5F151AA10 ,  5F151CA15 ,  5F151CB30 ,  5F151DA04 ,  5F151DA16 ,  5F151EA03 ,  5F151EA16 ,  5F151FA02 ,  5F151FA03 ,  5F151FA06 ,  5F151FA10 ,  5F151FA18 ,  5F151GA03