特許

J-GLOBAL ID：201403049632091162

弾性波装置

発明者： 小松 禎也 ,  岩崎 智弘 ,  中村 弘幸 ,  安見 正博 ,  西村 和紀
出願人/特許権者： パナソニック株式会社
代理人 (3件)： 内藤 浩樹 ,  藤井 兼太郎 ,  寺内 伊久郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-061410
公開番号（公開出願番号）：特開2014-187568
出願日： 2013年03月25日
公開日（公表日）： 2014年10月02日
要約：

【課題】不要スプリアスの少ない弾性波装置を提供することを目的とする。【解決手段】上記課題を解決するために、本発明の弾性波装置は、IDT電極上に第1の誘電体膜と、第1の誘電体膜上に第2の誘電体膜とを有し、第2の誘電体膜は、電極指の先端部に薄膜部を有し、IDT電極の中央部に厚膜部を有する。この構成により、高次横モードスプリアスと、主要弾性波以外の不要波によるスプリアスをともに抑制することができるものである。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

圧電基板と、 前記圧電基板の上面に設けられたIDT電極と、 前記圧電基板および前記IDT電極の上面を覆う第1の誘電体膜と、 前記第1の誘電体膜の上面を覆う第2の誘電体膜とを備え、 前記IDT電極は対向する第1と第2の櫛電極を有し、 前記第2の誘電体膜は膜厚の厚い厚膜部と膜厚の薄い薄膜部とを有し、 前記第1の櫛電極の電極指の先端部を弾性波の伝播方向に延長した領域を第1の先端領域とし、 前記第2の櫛電極の電極指の先端部を弾性波の伝播方向に延長した領域を第2の先端領域とし、 前記第1の先端領域と前記第2の先端領域の間の領域を中央領域としたとき、 前記第1の先端領域および前記第2の先端領域において前記薄膜部を有し、 前記中央領域において前記厚膜部を有する弾性波装置。

IPC (1件)：

H03H 9/145

FI (1件)：

H03H9/145 C

Fターム (6件)：

5J097AA14 ,  5J097AA15 ,  5J097BB14 ,  5J097FF05 ,  5J097GG04 ,  5J097KK04