特許

J-GLOBAL ID：201403049764047740

波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器

発明者： 佐野 朗
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  須澤 修 ,  宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-151142
公開番号（公開出願番号）：特開2014-013339
出願日： 2012年07月05日
公開日（公表日）： 2014年01月23日
要約：

【課題】高精度にギャップの調整ができ、ギャップを大きく変化させることができる波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器を提供する。【解決手段】波長可変干渉フィルター5は、第一反射膜54が設けられる第一基板51と、第二反射膜55が設けられる第二基板52と、第一基板上に設けられた第一電極561と、第二基板上に設けられ、第一電極に所定のギャップを介して対向する第二電極562と、第一電極及び第二電極の少なくとも一方の表面の一部に設けられた誘電体膜57と、を備えて構成された静電アクチュエーター56と、を備え、平面視において、第一電極及び第二電極が重なり合うアクチュエーター領域のうち、誘電体膜が設けられた第一領域は、アクチュエーター領域のうちの光干渉領域Ar0から離れる側に設けられている。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

第一基板と、 前記第一基板に対向する第二基板と、 前記第一基板上に設けられた第一反射膜と、 前記第二基板上に設けられ、前記第一反射膜にギャップを介して対向する第二反射膜と、 前記第一基板及び前記第二基板を基板厚み方向から見た平面視において、前記第一反射膜及び前記第二反射膜の重なり合う光干渉領域の外に設けられ、前記ギャップを変更する静電アクチュエーターと、を備え、 前記静電アクチュエーターは、前記第一基板上に設けられた第一電極と、前記第二基板上に設けられ、前記第一電極に所定のギャップを介して対向する第二電極と、前記第一電極及び前記第二電極の少なくとも一方の表面の一部に設けられた誘電体膜と、を備えて構成され、 前記平面視において、前記第一電極及び前記第二電極が重なり合うアクチュエーター領域のうち、前記誘電体膜が設けられた第一領域は、前記アクチュエーター領域のうちの前記光干渉領域から離れる側に設けられている ことを特徴とする波長可変干渉フィルター。

IPC (7件)：

G02B 26/02 ,  B81B 3/00 ,  G01J 3/26 ,  G01J 3/51 ,  G01J 3/36 ,  G01N 21/61 ,  G01N 21/27

FI (8件)：

G02B26/02 E ,  B81B3/00 ,  G01J3/26 ,  G01J3/51 ,  G01J3/36 ,  G01N21/61 ,  G01N21/27 B ,  G01N21/27 A

Fターム (44件)：

2G020AA03 ,  2G020BA12 ,  2G020CC26 ,  2G020CD06 ,  2G020CD34 ,  2G020CD37 ,  2G020CD56 ,  2G059BB11 ,  2G059BB13 ,  2G059DD12 ,  2G059EE02 ,  2G059EE03 ,  2G059EE10 ,  2G059EE12 ,  2G059FF01 ,  2G059GG01 ,  2G059GG04 ,  2G059JJ03 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK04 ,  2G059MM05 ,  2G059MM10 ,  2G059NN01 ,  2G059PP04 ,  2H141MA21 ,  2H141MB28 ,  2H141MC06 ,  2H141MD02 ,  2H141MD38 ,  2H141ME01 ,  2H141MF02 ,  2H141MG07 ,  2H141MG10 ,  2H141MZ13 ,  2H141MZ28 ,  2H141MZ30 ,  3C081AA01 ,  3C081BA28 ,  3C081BA45 ,  3C081BA48 ,  3C081BA53 ,  3C081EA05 ,  3C081EA07 ,  3C081EA08