特許

J-GLOBAL ID：201403049775600572

吸引装置及び方法、露光装置、並びにデバイス製造方法

発明者： 世良田 真来 ,  落野 新
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 立石 篤司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-285099
公開番号（公開出願番号）：特開2014-127655
出願日： 2012年12月27日
公開日（公表日）： 2014年07月07日
要約：

【課題】温度を変えることなくウエハを保持する。【解決手段】温度制御器133により温度が調整された一定流量Qのエアを配管1350に送りつつ、レギュレータ134を制御することで、ローディングディスクを用いてウエハを保持する場合に、ウエハを吸引するに必要な流量(閾流量qth)のエア(流量q≧qth)を配管125を介して複数のベルヌーイカップに供給することでローディングディスクを作動し、ウエハを吸引しない場合には、ウエハを吸引するに必要な流量未満のエア(流量q<qth)を配管125を介して複数のベルヌーイカップに供給することでローディングディスクを停止する。これにより、ウエハを吸引する場合と吸引しない場合とで、ほとんど変わらない流量のエアが複数のベルヌーイカップに供給されるため、温度を変えることなくウエハを保持することが可能となる。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

板状の物体に対して非接触で吸引力を作用させる吸引装置であって、 前記物体と対向する対向部と気体を噴出する噴出部とを有し、該噴出部から噴出された気体によって前記対向部と前記物体との間に気体の流れを形成することで前記吸引力を発生可能な吸引部材と、 前記吸引部材による前記吸引力の発生状態を、所定の状態に設定する設定装置と、 前記設定装置が設定した状態に応じて前記噴出部から噴出される気体の状態を変更する変更装置と、 を備えた吸引装置。

IPC (3件)：

H01L 21/677 ,  H01L 21/027 ,  G03F 7/20

FI (4件)：

H01L21/68 C ,  H01L21/30 502J ,  H01L21/30 503C ,  G03F7/20 521

Fターム (43件)：

5F131AA02 ,  5F131BA13 ,  5F131CA02 ,  5F131DA09 ,  5F131DA33 ,  5F131DA35 ,  5F131DA42 ,  5F131DA54 ,  5F131DB02 ,  5F131DB25 ,  5F131DB27 ,  5F131DB34 ,  5F131DB36 ,  5F131DB43 ,  5F131DB44 ,  5F131EA02 ,  5F131EA22 ,  5F131EA23 ,  5F131EB01 ,  5F131EB72 ,  5F131FA35 ,  5F131HA02 ,  5F131KA12 ,  5F131KA14 ,  5F131KA16 ,  5F131KA23 ,  5F131KA44 ,  5F131KA52 ,  5F131KA54 ,  5F131KB04 ,  5F131KB07 ,  5F131KB23 ,  5F131KB53 ,  5F146CD01 ,  5F146CD05 ,  5F146CD07 ,  5F146DA07 ,  5F146DA26 ,  5F146DA27 ,  5F146DB02 ,  5F146DB03 ,  5F146DB09 ,  5F146DC10