特許
J-GLOBAL ID：201403050062382034
ウェーハの加工方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
青木 宏義
, 天田 昌行
, 岡田 喜雅
, 菅野 亨
, 溝口 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-214302
公開番号（公開出願番号）：特開2014-067982
出願日： 2012年09月27日
公開日（公表日）： 2014年04月17日
要約：
【課題】作業効率が高く、薄く研削されたウェーハから支持部材を剥離させる際のウェーハの破損を防止可能なウェーハの加工方法を提供すること。【解決手段】両面粘着テープ(DT)の一方の粘着層(A1)を剛性支持部材(S)に貼着する第1貼着工程と、両面粘着テープの他方の粘着層(A2)にウェーハ(W)の表面(W1)側の外周の一部を接触させて、ウェーハを倒すように両面粘着テープ上に載置するウェーハ載置工程と、載置されたウェーハの裏面(W2)側を押圧し、ウェーハを剛性支持部材に貼着する第2貼着工程と、ウェーハの裏面側を研削し、ウェーハを所定の仕上げ厚み(t)に薄化する研削工程と、剛性支持部材又はウェーハを通じて両面粘着テープの粘着層に紫外線(UV)を照射し、粘着層を硬化させて粘着力を低下させる粘着層硬化工程と、ウェーハから剛性支持部材及び両面粘着テープを除去する除去工程と、を備える構成とした。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
ウェーハの裏面を研削して薄化するウェーハの加工方法であって、
基材シートの両面に紫外線硬化型粘着剤からなる粘着層が形成された両面粘着テープの一方の粘着層を剛性支持部材に貼着する第1貼着工程と、
該第1貼着工程を実施した後に、該両面テープの他方の粘着層を上面に露呈して該剛性支持部材を保持テーブルに保持し、ウェーハの表面を該他方の該粘着層に対向させウェーハの外径方向一端を該両面粘着テープの該粘着層の外径方向一端側に当接させるとともにウェーハの外径方向他端を上方に向けた状態から、ウェーハの該外径方向他端を該両面粘着テープの該他方の粘着層の外径方向他端側へ向けて倒すことでウェーハの表面全面を該粘着層に載置するウェーハ載置工程と、
ウェーハ載置工程を実施した後に、ウェーハ側から押圧しウェーハを該剛性支持部材に貼着された該両面テープの他方の粘着層に貼着する第2貼着工程と、
該第2貼着工程を実施した後に、該剛性支持部材を保持テーブルに保持してウェーハの裏面を研削し所定厚みへと薄化する研削工程と、
ウェーハ又は該剛性支持部材と該両面粘着テープの該基材シートとは紫外線を透過する材質で形成されており、該研削工程を実施した後に、該両面テープの粘着層に紫外線を照射し粘着層を硬化させ粘着力を低下させる粘着層硬化工程と、
該粘着層硬化工程を実施した後に、該剛性支持部材及び該両面粘着テープをウェーハから剥離する除去工程と、
を備えるウェーハの加工方法。
IPC (1件)：
FI (3件)：
H01L21/304 622J
, H01L21/304 622N
, H01L21/304 622P
5F057AA05
, 5F057AA12
, 5F057BA15
, 5F057CA14
, 5F057CA24
, 5F057CA25
, 5F057DA11
, 5F057DA21
, 5F057EC07
, 5F057EC09
, 5F057FA16
, 5F057FA22
, 5F057FA30
