特許
J-GLOBAL ID：201403050366982771
電子線装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
志賀 正武
, 鈴木 三義
, 勝俣 智夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-265494
公開番号（公開出願番号）：特開2014-110220
出願日： 2012年12月04日
公開日（公表日）： 2014年06月12日
要約：
【課題】稠密状に配列した複数の電子線カラムの全てに対して、電子線カラムを操作するため伝達機構の挿入を可能にし、機能性および保守性の向上を可能にした電子線装置を提供することを目的とする。【解決手段】電子線カラム21の外装体は、大径部23と、この大径部23よりも直径が小さい小径部24とを備える。これにより、小径部24の周囲には、空隙部25が形成される。伝達機構58は、電子線カラム群61の外周側から、外周側に配された電子線カラム21の空隙部25を直線状に貫通して、中央側に配された電子線カラム21に接続される。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
試料表面に電子線を照射する電子線光学系、前記電子線の照射により発生した電子を検出する検出系からなる電子線光学要素を有し、大径部と小径部とが設けられた筒状の外装体を更に有する複数の電子線カラムと、
前記電子線カラム内に配置された前記電子線光学要素にそれぞれ接続する前記電子線カラムの伝達機構が前記小径部に配置され、
前記複数の電子線カラムによって電子線カラム群が構成され、
前記電子線カラム群においては、前記電子線カラム同士の前記大径部が相互に最小限の間隔を保って隣り合うように前記電子線カラムを一列に配列させたカラム列を複数備えるとともに、前記カラム列同士が並列に配置され、かつ少なくとも一部の隣接するカラム列同士が相互にずれた稠密状に配置され、
前記カラム列において前記電子線カラムの小径部によって形成された空隙部に、前記伝達機構が電子線カラム群の外側から挿入されていることを特徴とする電子線装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (2件)：
引用特許：
前のページに戻る
