特許
J-GLOBAL ID：201403050948306681
加速度検出素子
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
家入 健
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-190966
公開番号（公開出願番号）：特開2014-048150
出願日： 2012年08月31日
公開日（公表日）： 2014年03月17日
要約：
【課題】特定内壁面に対して直交する方向の加速度を検出する。【解決手段】加速度検出素子1は、外枠体2と、発熱体3と、温度測定用の第1測温体4及び温度測定用の第2測温体5と、演算増幅器6(差分演算回路)と、を備えて構成されている。外枠体2は、内部に流体を封止可能な流体チャンバー11(流体封止室)が形成されている。発熱体3は、流体チャンバー11を区画する複数の内壁面のうち特定の内壁面である回路搭載面12(特定内壁面)に形成されている。第1測温体4及び第2測温体5は、回路搭載面12に形成されている。図3に示すように、第1測温体4から発熱体3までの距離D1は、第2測温体5から発熱体3までの距離D2よりも短い。演算増幅器6は、第1測温体4による測定結果と、第2測温体5による測定結果と、の差分を演算する。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
内部に流体を封止可能な流体封止室が形成された外枠体と、
前記流体封止室を区画する複数の内壁面のうち特定の内壁面である特定内壁面に形成された発熱体と、
前記特定内壁面に形成された温度測定用の第1測温体及び温度測定用の第2測温体であって、前記第1測温体から前記発熱体までの距離は、前記第2測温体から前記発熱体までの距離よりも短く、
前記第1測温体による測定結果と、前記第2測温体による測定結果と、の差分を演算する差分演算回路と、
を備えた、
加速度検出素子。
IPC (1件)：
FI (1件)：
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