発光装置、露光装置、露光用マスク、および、トランスイルミネータ

発明者：
出願人/特許権者： ,
代理人 (5件)：三好秀和 , 岩▲崎▼ 幸邦 , 高橋俊一 , 伊藤正和 , 高松俊雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-163866
公開番号（公開出願番号）：特開2014-025984
出願日： 2012年07月24日
公開日（公表日）： 2014年02月06日
要約：

【課題】小型かつ簡単な構成で、しかも、使用する上での所要時間の短縮を図ることができる発光装置、露光装置、露光用マスク、および、トランスイルミネータを提供することを課題とする。【解決手段】発光装置10は、装置筐体12内に収容され、紫外光を発するとともにグローブ22には紫外光吸収物質を非存在としたランプ16と、ランプ16からの紫外光を吸収して蛍光を発する蛍光体20と、を備え、蛍光体20からの蛍光を装置外方へ発する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

装置筐体内に収容され、紫外光を発するとともにグローブには紫外光を吸収する物質を非存在としたランプと、前記ランプからの紫外光を吸収して蛍光を発する蛍光体と、を備え、前記蛍光体からの蛍光を装置外方へ発することを特徴とする発光装置。

IPC (1件)：

G03F 7/20

FI (2件)：

G03F7/20 501 , G03F7/20 511

Fターム (8件)：

2H097CA03 , 2H097CA05 , 2H097CA06 , 2H097CA12 , 2H097CA14 , 2H097GA45 , 2H097LA01 , 2H097LA09

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