特許

J-GLOBAL ID：201403051356709607

ケミカルミーリング装置

発明者： 奥村 直樹 ,  三河 寛明 ,  安井 豊明
出願人/特許権者： 三菱重工業株式会社
代理人 (2件)： 酒井 宏明 ,  高村 順
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-275047
公開番号（公開出願番号）：特開2014-118609
出願日： 2012年12月17日
公開日（公表日）： 2014年06月30日
要約：

【課題】ケミカルミーリング装置において、高精度なケミカルミーリングを行うことを可能とする。【解決手段】ケミカルミーリング溶液を貯留可能なエッチング槽11と、被加工物14を収容してエッチング槽11のケミカルミーリング溶液に浸漬可能な保持治具12と、エッチング槽11内で保持治具12に収容された被加工物14に向けてケミカルミーリング溶液を噴出可能な溶液噴出装置13とを設ける。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ケミカルミーリング溶液を貯留可能なエッチング槽と、 被加工物を収容して前記エッチング槽内に浸漬可能な保持治具と、 前記エッチング槽内で前記保持治具に収容された前記被加工物に向けてケミカルミーリング溶液を噴出可能な溶液噴出装置と、 を有することを特徴とするケミカルミーリング装置。

IPC (2件)：

C23F 1/08 ,  C23F 1/04

FI (3件)：

C23F1/08 103 ,  C23F1/08 102 ,  C23F1/04

Fターム (6件)：

4K057WA11 ,  4K057WB06 ,  4K057WM04 ,  4K057WM06 ,  4K057WM11 ,  4K057WN06