特許

J-GLOBAL ID：201403053580993186

太陽電池セルの製造方法および太陽電池セル

発明者： 前田 真佑 ,  武田 直樹 ,  山本 直子
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人深見特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-234876
公開番号（公開出願番号）：特開2014-086589
出願日： 2012年10月24日
公開日（公表日）： 2014年05月12日
要約：

【課題】良好な電気特性を有する太陽電池セルを、高い製造効率、かつ高い歩留まりで製造することができる太陽電池セルの製造方法および太陽電池セルを提供する。【解決手段】半導体基板11の表面に形成された拡散防止マスク層12にレーザ光を照射することによって、拡散防止マスク層に開口部14を設け、拡散防止マスク層12の開口部14から露出する部分をアルカリ性溶液15を用いてエッチングした後に拡散防止マスク層12をマスクとして半導体基板に不純物を拡散する。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

半導体基板の表面に拡散防止マスク層を形成する第1の工程と、 前記拡散防止マスク層にレーザ光を照射することによって前記拡散防止マスク層の前記レーザ光の照射箇所に開口部を設ける第2の工程と、 前記拡散防止マスク層の前記開口部から露出する部分をアルカリ性溶液を用いてエッチングする第3の工程と、 前記第3の工程の後に、前記拡散防止マスク層をマスクとして前記半導体基板に不純物を拡散する第4の工程と、を含む、太陽電池セルの製造方法。

IPC (1件)：

H01L 31/06

FI (1件)：

H01L31/04 L

Fターム (6件)：

5F151AA02 ,  5F151AA03 ,  5F151CB13 ,  5F151CB20 ,  5F151CB21 ,  5F151GA04