特許
J-GLOBAL ID:201403054184580037

表面弾性波発生装置、及び、液体又は粉粒体の輸送方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 奈良 泰宏
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-016231
公開番号(公開出願番号):特開2014-150594
出願日: 2013年01月30日
公開日(公表日): 2014年08月21日
要約:
【課題】単一の電極層を用いて、表面弾性波の伝搬方向と同じ方向、表面弾性波の伝搬方向と反対の方向、及び、表面弾性波の伝搬方向と交差する方向のうちいずれか一つ以上の方向に液体又は粉粒体を輸送可能な表面弾性波発生装置、及び、液体又は粉粒体の輸送方法を得る。【解決手段】表面弾性波発生装置1は、圧電基板2と、前記圧電基板2の一方の面において前記圧電基板2の結晶面方位に合わせた位置に形成され、粉粒体Pを輸送可能な表面弾性波を前記粉粒体Pに向けて伝搬可能な電極層3と、前記電極層3を駆動可能な駆動周波数を制御することによって、前記表面弾性波の伝搬方向と同じ方向、前記伝搬方向と反対の方向、及び、前記伝搬方向と交差する方向のうちいずれか一つ以上の方向に前記粉粒体Pを輸送可能な周波数制御部4と、を備えることを特徴とするものである。【選択図】図1
請求項(抜粋):
圧電基板と、 前記圧電基板の一方の面において前記圧電基板の結晶面方位に合わせた位置に形成され、液体又は粉粒体を輸送可能な表面弾性波を前記液体又は前記粉粒体に向けて伝搬可能な電極層と、 前記電極層を駆動可能な駆動周波数を制御することによって、前記表面弾性波の伝搬方向と同じ方向、前記伝搬方向と反対の方向、及び、前記伝搬方向と交差する方向のうちいずれか一つ以上の方向に前記液体又は前記粉粒体を輸送可能な周波数制御部と、 を備えることを特徴とする表面弾性波発生装置。
IPC (7件):
H02N 2/00 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/22 ,  F04D 33/00 ,  F04D 35/00
FI (8件):
H02N2/00 B ,  H01L41/08 C ,  H01L41/08 L ,  H01L41/18 101A ,  H01L41/18 101B ,  H01L41/22 Z ,  F04D33/00 ,  F04D35/00
Fターム (8件):
3H130AA02 ,  3H130AB22 ,  3H130AB41 ,  3H130AC18 ,  3H130BA97G ,  3H130BA97H ,  3H130DD00X ,  3H130DF00X

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