半導体装置およびその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：筒井大和 , 菅田篤志 , 筒井章子 , 坂次哲也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-040383
公開番号（公開出願番号）：特開2014-170771
出願日： 2013年03月01日
公開日（公表日）： 2014年09月18日
要約：

【課題】容量素子を有する半導体装置の信頼性を向上させる。【解決手段】半導体基板上にメモリ素子と容量素子が形成され、メモリ素子は、内部に電荷蓄積部を有するゲート絶縁膜を介して半導体基板上に形成されたゲート電極を有し、容量素子は、下部電極LEと、下部電極LE上に容量絶縁膜DEを介して形成された上部電極UEとを有している。容量絶縁膜DEとメモリ素子のゲート絶縁膜とは、同層の絶縁膜により形成され、上部電極UEの平面形状は、矩形の角を落とした形状、または、矩形の角に丸みを付けた形状を有している。上部電極UEの平面形状の角部または丸み部における上部電極UEの側壁からの容量絶縁膜DEの端部の後退量BKは、ゲート電極の平面形状の角部におけるゲート電極の側壁からのゲート絶縁膜の端部の後退量よりも小さい。【選択図】図48

請求項（抜粋）：

半導体基板上に形成されたメモリ素子と容量素子とを有する半導体装置であって、前記メモリ素子は、内部に電荷蓄積部を有するゲート絶縁膜を介して前記半導体基板上に形成されたゲート電極を有し、前記容量素子は、第1電極と、前記第1電極上に容量絶縁膜を介して形成された第2電極とを有し、前記容量絶縁膜と前記ゲート絶縁膜とは、同層の絶縁膜により形成され、前記第2電極と前記ゲート電極とは、同層の導電膜により形成され、前記第2電極と前記ゲート電極の側壁上に、側壁絶縁膜が形成されており、前記第2電極の平面形状は、矩形の角を落とした形状、または、矩形の角に丸みを付けた形状を有し、前記第2電極の平面形状の角部または丸み部における前記第2電極の側壁からの前記容量絶縁膜の端部の後退量である第1後退量は、前記ゲート電極の平面形状の角部における前記ゲート電極の側壁からの前記ゲート絶縁膜の端部の後退量である第2後退量よりも小さく、前記第1後退量は、前記第2電極の平面形状の辺における前記第2電極の側壁からの前記容量絶縁膜の端部の後退量である第3後退量よりも大きい、半導体装置。

IPC (6件)：

H01L 27/115 , H01L 21/824 , H01L 27/10 , H01L 21/336 , H01L 29/788 , H01L 29/792

FI (4件)：

H01L27/10 434 , H01L27/10 481 , H01L29/78 371 , H01L27/10 461

Fターム (78件)：

5F083EP17 , 5F083EP18 , 5F083EP22 , 5F083EP48 , 5F083EP49 , 5F083EP63 , 5F083EP68 , 5F083ER02 , 5F083ER11 , 5F083ER13 , 5F083ER22 , 5F083GA02 , 5F083GA09 , 5F083GA19 , 5F083GA24 , 5F083GA27 , 5F083GA28 , 5F083JA02 , 5F083JA04 , 5F083JA05 , 5F083JA06 , 5F083JA33 , 5F083JA35 , 5F083JA36 , 5F083JA37 , 5F083JA38 , 5F083JA39 , 5F083JA40 , 5F083JA53 , 5F083LA03 , 5F083LA04 , 5F083LA05 , 5F083LA10 , 5F083LA21 , 5F083MA05 , 5F083MA06 , 5F083MA16 , 5F083MA19 , 5F083NA01 , 5F083PR05 , 5F083PR09 , 5F083PR12 , 5F083PR15 , 5F083PR21 , 5F083PR29 , 5F083PR33 , 5F083PR36 , 5F083PR40 , 5F083PR43 , 5F083PR44 , 5F083PR46 , 5F083PR52 , 5F083PR53 , 5F083PR54 , 5F083PR56 , 5F083ZA01 , 5F083ZA05 , 5F083ZA07 , 5F083ZA13 , 5F101BA42 , 5F101BA45 , 5F101BA47 , 5F101BA53 , 5F101BA54 , 5F101BB02 , 5F101BB08 , 5F101BD07 , 5F101BD35 , 5F101BE07 , 5F101BF01 , 5F101BH02 , 5F101BH03 , 5F101BH05 , 5F101BH09 , 5F101BH15 , 5F101BH16 , 5F101BH19 , 5F101BH21

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