ピクセルビア(PIXELVIA)およびそれを形成する方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (12件)：蔵田昌俊 , 福原淑弘 , 野河信久 , 峰隆司 , 河野直樹 , 砂川克 , 井関守三 , 赤穂隆雄 , 井上正 , 佐藤立志 , 岡田貴志 , 堀内美保子
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-503703
公開番号（公開出願番号）：特表2014-515836
出願日： 2012年03月30日
公開日（公表日）： 2014年07月03日
要約：

本開示は、ピクセルビアのためのシステムと、方法と、装置とを提供する。一態様では、複数のピクセルを有する電気機械デバイスを形成する方法は、電気伝導性ブラックマスク(23)を、各ピクセルの4つのコーナーの各々において、および各ピクセルの少なくとも1つのエッジ領域に沿って、基板(20)上に堆積させることと、誘電体層(35)をブラックマスクの上に堆積させることと、静止電極を含む光学スタック(16)を誘電体層の上に堆積させることと、機械層(14)を光学スタックの上に堆積させることとを含む。この方法は、伝導性ビア(138)を複数のピクセルのうちの第1のピクセル中に設けることであり、ビアが、誘電体層中に配設され、静止電極をブラックマスクに電気的に接続し、ビアが、第1のピクセルの中心に向かう方向に第1のピクセルのエッジからオフセットされて離間する、第1のピクセルのエッジに沿った位置に配設されることをさらに含む。

請求項（抜粋）：

ピクセルのアレイを備えるデバイスであって、各ピクセルが、基板と、前記基板上に配設され、前記ピクセルの4つのコーナーの各々において、および前記ピクセルの少なくとも1つのエッジ領域に沿って、前記ピクセルの光学不活性部分を遮蔽する、電気伝導性ブラックマスクと、前記ブラックマスクの上に配設された誘電体層と、前記誘電体層の上に配設された光学スタックであり、静止電極を含む光学スタックと、前記光学スタックの上に配置され、機械層と前記光学スタックとの間のキャビティを画定する機械層であり、作動位置と緩和位置との間で前記キャビティを通して可動であり、前記ピクセルの各コーナーにおいて前記光学スタックの上にアンカーされる、機械層とを有し、前記ピクセルのアレイが、前記静止電極を前記ブラックマスクに電気的に接続する、前記誘電体層中の伝導性ビアを有する第1のピクセルを含み、前記伝導性ビアが、前記第1のピクセルの光学不活性エリアにおける前記第1のピクセルのエッジに沿った位置に配設され、前記伝導性ビアの前記位置が、前記第1のピクセルの中心に向かう方向に前記第1のピクセルの前記エッジからオフセットされて離間する、デバイス。

IPC (6件)：

G02B 26/02 , B81B 3/00 , B81B 7/04 , B81C 1/00 , G09F 9/30 , G09F 9/37

FI (7件)：

G02B26/02 E , B81B3/00 , B81B7/04 , B81C1/00 , G09F9/30 338 , G09F9/37 Z , G09F9/30 349C

Fターム (38件)：

2H141MA01 , 2H141MB28 , 2H141MB63 , 2H141MC06 , 2H141MG03 , 2H141MZ18 , 2H141MZ20 , 3C081AA13 , 3C081BA11 , 3C081BA28 , 3C081BA32 , 3C081BA44 , 3C081BA45 , 3C081BA48 , 3C081BA53 , 3C081BA72 , 3C081BA76 , 3C081CA03 , 3C081CA14 , 3C081CA15 , 3C081CA16 , 3C081CA27 , 3C081CA28 , 3C081CA29 , 3C081EA08 , 3C081EA11 , 5C094BA61 , 5C094BA71 , 5C094DB04 , 5C094EA10 , 5C094EB02 , 5C094ED11 , 5C094ED15 , 5C094ED20 , 5C094FA10 , 5C094FB16 , 5C094GB10 , 5C094JA08

引用特許：

審査官引用 (1件)

副画素間に開口を有するディスプレイデバイス及びその製造方法
公報種別：公表公報出願番号：特願2012-502136 出願人：クォルコム・メムズ・テクノロジーズ・インコーポレーテッド

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