X線回折装置

発明者： ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (1件)：ポレール特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-043618
公開番号（公開出願番号）：特開2014-173854
出願日： 2013年03月06日
公開日（公表日）： 2014年09月22日
要約：

【課題】放射線に起因するバックグランド強度をさらに低減でき、回折ピークをより精度良く測定できるX線回折装置を提供する。【解決手段】X線回折装置1では、ベース11に設置されたX線源走査装置16に取り付けられたX線源2が、試料ステージ15に設置された、放射化された被測定物23の周囲を回転する。ベース11に固定された放射線遮蔽体20が比例計数管3、および偏向結晶部材18を設けた偏向結晶部材ステージ19の周囲を取り囲む。放射線遮蔽体20内には、偏向結晶部材18を配置する空間26と比例計数管3を結ぶX線光路22が形成され、空間26から試料ステージ15に向かうX線入射通路27が形成される。比例計数管3は、非金属で構成されてガスが封入されたケーシング内に、非金属製の一対の陰極板、金属製の陽極芯線および陰極線が配置される。比例計数管3は金属で構成することが必須の部材以外は非金属製である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

X線源と、被測定物を保持し、ベースに回転可能に取り付けられた試料ステージと、前記X線源が取り付けられ、前記X線源を前記試料ステージの周囲で走査するX線源走査装置と、偏向結晶部材が取り付けられて回転する偏向結晶部材ステージと、放射線検出器と、前記偏向結晶部材、前記偏向結晶部材ステージおよび前記放射線検出器が内部に設置されて前記偏向結晶部材、前記偏向結晶部材ステージおよび前記放射線検出器を取り囲み、ベースに固定される放射線遮蔽体とを備え、前記偏向結晶部材ステージの回転中心を中心にして折れ曲がり、前記放射線検出器まで達するX線通路が前記放射線遮蔽体内に形成され、前記偏向結晶部材が前記X線通路の折れ曲り部に配置されることを特徴とするX線回折装置。

IPC (4件)：

G01N 23/20 , G01N 23/221 , G01T 7/00 , G01T 1/18

FI (5件)：

G01N23/20 , G01N23/221 , G01T7/00 B , G01T1/18 A , G01T7/00 A

Fターム (38件)：

2G001AA01 , 2G001BA18 , 2G001CA01 , 2G001DA01 , 2G001GA13 , 2G001KA01 , 2G001KA07 , 2G001LA08 , 2G088FF03 , 2G088GG01 , 2G088GG21 , 2G088JJ08 , 2G088JJ09 , 2G088JJ11 , 2G088JJ29 , 2G088JJ35 , 2G088KK28 , 2G088LL11 , 2G188AA20 , 2G188AA27 , 2G188BB03 , 2G188CC01 , 2G188CC28 , 2G188DD01 , 2G188DD09 , 2G188DD10 , 2G188DD16 , 2G188DD23 , 2G188DD25 , 2G188DD26 , 2G188DD30 , 2G188DD33 , 2G188DD35 , 2G188DD38 , 2G188EE28 , 2G188FF02 , 2G188FF05 , 2G188FF11

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