特許

J-GLOBAL ID：201403055513811068

レーザ照射装置及びレーザ照射方法

発明者： 谷中 耕平
出願人/特許権者： トヨタ自動車株式会社
代理人 (1件)： 家入 健
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-026661
公開番号（公開出願番号）：特開2014-155932
出願日： 2013年02月14日
公開日（公表日）： 2014年08月28日
要約：

【課題】レーザ照射部全体の温度を精度よく測定でき、レーザ照射部の温度管理が正確にできるレーザ照射装置及びレーザ照射方法を提供すること。【解決手段】本発明にかかるレーザ照射装置100は、レーザ光源101と、レーザ光源101から射出されたレーザ光107のビーム形状を変更するビーム形状変更部104と、レーザ光源101からビーム形状変更部104へと至る光路上に配置されたビームスプリッタ103と、ビーム形状変更部104を通過したレーザ光107が照射されたレーザ照射部108から発生する光線に基づいてレーザ照射部108の温度を測定する温度測定部と、を有し、光線は、ビーム形状変更部104を通過した後、ビームスプリッタ103によって分離され、温度測定部106へ導光される。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

レーザ光源と、 前記レーザ光源から射出されたレーザ光のビーム形状を変更するビーム形状変更部と、 前記レーザ光源から前記ビーム形状変更部へと至る光路上に配置されたビームスプリッタと、 前記ビーム形状変更部を通過した前記レーザ光が照射されたレーザ照射部から発生する光線に基づいて前記レーザ照射部の温度を測定する温度測定部と、を有し、 前記光線は、前記ビーム形状変更部を通過した後、前記ビームスプリッタによって分離され、前記温度測定部へ導光される、レーザ照射装置。

IPC (5件)：

B23K 26/00 ,  B23K 26/073 ,  H01L 21/268 ,  G01J 5/08 ,  G01J 5/00

FI (6件)：

B23K26/00 P ,  B23K26/073 ,  H01L21/268 J ,  G01J5/08 Z ,  G01J5/00 101A ,  H01L21/268 T

Fターム (10件)：

2G066AC11 ,  2G066CA14 ,  4E068AH00 ,  4E068CA07 ,  4E068CB09 ,  4E068CC03 ,  4E068CD08 ,  4E068CD13 ,  4E068DB01 ,  4E068DB11

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 放射温度計
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-162613   出願人：株式会社堀場製作所