特許

J-GLOBAL ID：201403055571396925

力検出装置、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、部品加工装置および移動体

発明者： 荒川 豊
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (2件)： 増田 達哉 ,  朝比 一夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-071928
公開番号（公開出願番号）：特開2014-196921
出願日： 2013年03月29日
公開日（公表日）： 2014年10月16日
要約：

【課題】熱膨張による測定誤差を抑制することができる力検出装置、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、部品加工装置および移動体を提供する。【解決手段】力検出装置は、第1の基板2と、前記第1の基板と対向配置された第2の基板3と、前記第1の基板と前記第2の基板との間に設けられた中間部6と、前記中間部6と前記第2の基板3との間に設けられ、外力に応じて信号を出力する素子10と、前記第1の基板2と前記第2の基板3と固定する固定部材71、72と、前記第1の基板2と前記中間部6との間に設けられ、断熱性を有する第1の断熱部材82と、前記第2の基板3と前記素子6との間に設けられ、断熱性を有する第2の断熱部材83とを備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

第1の基板と、 前記第1の基板と対向配置された第2の基板と、 前記第1の基板と前記第2の基板との間に設けられた中間部と、 前記中間部と前記第2の基板との間に設けられ、外力に応じて信号を出力する素子と、 前記第1の基板と前記第2の基板と固定する固定部材と、 前記第1の基板と前記中間部との間に設けられ、断熱性を有する第1の断熱部材と、 前記第2の基板と前記素子との間に設けられ、断熱性を有する第2の断熱部材とを備えることを特徴とする力検出装置。

IPC (3件)：

G01L 5/16 ,  G01L 1/16 ,  B25J 19/02

FI (3件)：

G01L5/16 ,  G01L1/16 B ,  B25J19/02

Fターム (10件)：

2F051AA10 ,  2F051AB08 ,  2F051DA03 ,  3C707BS10 ,  3C707BS27 ,  3C707CY34 ,  3C707KS33 ,  3C707KW03 ,  3C707KX06 ,  3C707MT04