特許

J-GLOBAL ID：201403056074229027

差圧センサ

発明者： 下山 勲 ,  松本 潔 ,  ▲たか▼畑 智之 ,  菅 哲朗 ,  桑名 健太 ,  高橋 英俊 ,  グェン ミン ジューン
出願人/特許権者： 国立大学法人 東京大学
代理人 (3件)： 吉田 正義 ,  今枝 弘充 ,  梅村 裕明
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2012050321
公開番号（公開出願番号）：WO2012-102073
出願日： 2012年01月11日
公開日（公表日）： 2012年08月02日
要約：

簡素な構成で圧力変動を測定することができる差圧センサを提供する。空気室と、当該空気室の内外を連通する開口とが形成された本体と、前記開口に設けられた検知部とを備え、前記検知部は、前記開口を塞ぐように傾動可能に設けられたカンチレバー部を有し、前記カンチレバー部はピエゾ抵抗層が形成されていることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

空気室と、当該空気室の内外を連通する開口とが形成された本体と、 前記開口に設けられた検知部と を備え、 前記検知部は、前記開口を塞ぐように傾動可能に設けられたカンチレバー部を有し、 前記カンチレバー部はピエゾ抵抗層が形成されている ことを特徴とする差圧センサ。

IPC (1件)：

G01L 13/06

FI (1件)：

G01L13/06 R

Fターム (7件)：

2F055AA40 ,  2F055BB05 ,  2F055CC12 ,  2F055DD05 ,  2F055EE13 ,  2F055FF43 ,  2F055GG11