特許

J-GLOBAL ID：201403056358757899

液体吐出ヘッドの製造方法

発明者： 尾形 美尚 ,  宇山 剛矢
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (2件)： 宮崎 昭夫 ,  緒方 雅昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-053441
公開番号（公開出願番号）：特開2014-177063
出願日： 2013年03月15日
公開日（公表日）： 2014年09月25日
要約：

【課題】本発明は、エネルギー発生素子に発熱抵抗体を利用した液体吐出ヘッドの製造方法であって、マスクレジストのカバレッジ性を向上可能な液体吐出ヘッドの製造方法を提供することである。【解決手段】本発明は、抵抗層及び該抵抗層の上に形成された導電層によって形成される発熱抵抗体と、液体を供給するための供給口と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、(1)基板の第一の面の上に、前記抵抗層の材料と前記導電層の材料を配置してパターニングすることにより、前記抵抗層及び前記導電層とともに、前記供給口が形成される領域の上に土台を形成する工程と、(2)前記導電層、前記土台及び前記基板の上にレジストを配置し、該レジストをパターニングしてマスクを形成する工程と、(3)前記マスクを用いたエッチングにより前記導電層の一部を除去し、前記発熱抵抗体を形成する工程と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法である。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

抵抗層及び該抵抗層の上に形成された導電層によって形成される発熱抵抗体と、液体を供給するための供給口と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、 (1)基板の第一の面の上に、前記抵抗層の材料と前記導電層の材料を配置してパターニングすることにより、前記抵抗層及び前記導電層とともに、前記供給口が形成される領域の上に土台を形成する工程と、 (2)前記導電層、前記土台及び前記基板の上にレジストを配置し、該レジストをパターニングしてマスクを形成する工程と、 (3)前記マスクを用いたエッチングにより前記導電層の一部を除去し、前記発熱抵抗体を形成する工程と、 を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。

IPC (2件)：

B41J 2/16 ,  B41J 2/05

FI (2件)：

B41J3/04 103H ,  B41J3/04 103B

Fターム (9件)：

2C057AF93 ,  2C057AG15 ,  2C057AG46 ,  2C057AP31 ,  2C057AP32 ,  2C057AP57 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA04 ,  2C057BA13