特許
J-GLOBAL ID:201403056746458771
レーザ装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (6件):
千葉 剛宏
, 宮寺 利幸
, 大内 秀治
, 仲宗根 康晴
, 坂井 志郎
, 山野 明
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-249020
公開番号(公開出願番号):特開2014-097507
出願日: 2012年11月13日
公開日(公表日): 2014年05月29日
要約:
【課題】汎用のミラーを用いて分割レーザ光の光量比及びビーム間隔のうち少なくともいずれか一方を容易に調整することができ、これによって、コストの低廉化を図ることができるレーザ装置を提供する。【解決手段】レーザ装置10Aは、レーザ光LBを分割レーザ光LB1、LB2に分割する複数のミラー44、46と集光レンズ52を備える。ミラー46は、当該ミラー46に対するレーザ光LBの入射量が変更されるように進退可能な状態、及び当該ミラー46で反射された分割レーザ光LB2の集光レンズ52に対する入射角度が変更されるように傾動可能な状態のうち少なくともいずれか一方の状態で配設される。【選択図】図2
請求項(抜粋):
レーザ光を発振するレーザ発振器と、
前記レーザ光を複数の分割レーザ光に分割すると共にワークに向けて反射する複数のミラーと、
複数の前記分割レーザ光を前記ワークに集光する集光レンズと、を備えるレーザ装置であって、
複数の前記ミラーの少なくとも1つは、当該ミラーに対する前記レーザ光の入射量が変更されるように進退可能な状態、及び当該ミラーで反射された前記分割レーザ光の前記集光レンズに対する入射角度が変更されるように傾動可能な状態のうち少なくともいずれか一方の状態で配設される可動ミラーである、
ことを特徴とするレーザ装置。
IPC (6件):
B23K 26/067
, B23K 26/00
, B23K 26/064
, B23K 1/00
, B23K 1/005
, H05K 3/34
FI (7件):
B23K26/067
, B23K26/00 P
, B23K26/06 Z
, B23K1/00 A
, B23K1/005 A
, B23K1/005 D
, H05K3/34 507E
Fターム (9件):
4E068BA05
, 4E068CA09
, 4E068CB08
, 4E068CC02
, 4E068CC03
, 4E068CD04
, 4E068CD11
, 4E068DA11
, 5E319CC46
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