特許

J-GLOBAL ID：201403057111312777

液滴吐出ヘッドの製造方法、液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置

発明者： 佐藤 直也
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  宮坂 一彦 ,  渡辺 和昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-063526
公開番号（公開出願番号）：特開2014-188689
出願日： 2013年03月26日
公開日（公表日）： 2014年10月06日
要約：

【課題】島状部と圧電素子との接合性を向上させることができる液滴吐出ヘッドおよびその製造方法を提供する。【解決手段】可撓性フィルム92と金属材98とを接着する接着工程と、金属材をエッチングして島状部95を形成する島状部形成工程と、少なくとも島状部の頂部に金属膜99を形成する金属膜形成工程と、金属膜と圧電素子51とを接合する接合工程と、を含む。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

可撓性フィルムと金属材とを接着する接着工程と、 前記金属材をエッチングして島状部を形成する島状部形成工程と、 少なくとも前記島状部の頂部に金属膜を形成する金属膜形成工程と、 前記金属膜と圧電素子とを接合する接合工程と、を含むことを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。

IPC (3件)：

B41J 2/16 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055

FI (2件)：

B41J3/04 103H ,  B41J3/04 103A

Fターム (10件)：

2C057AF65 ,  2C057AF93 ,  2C057AG44 ,  2C057AG55 ,  2C057AG56 ,  2C057AP25 ,  2C057AP31 ,  2C057AP55 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14