特許

J-GLOBAL ID：201403058289771437

プラズマ生成方法及び生成装置

発明者： 中島 秀之 ,  迫田 達也 ,  馬場 誠二
出願人/特許権者： 旭有機材工業株式会社
代理人 (1件)： 弁護士法人 衞藤法律特許事務所
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2012061343
公開番号（公開出願番号）：WO2012-147911
出願日： 2012年04月27日
公開日（公表日）： 2012年11月01日
要約：

【課題】流体と誘電体管の間に放電を生起させるプラズマ生成方法及び生成装置を提供する。【解決手段】供給されるガスに電圧を印加することによって誘電体管内の放電によりプラズマを生成させる方法において、該誘電体管の内部又は上方に通水管が配置され、該誘電体管の外側に高電圧電極が配設され、該誘電体管の内周に間隙を持った状態で該誘電体管内へ通水管を通って吐出される流体に接地電極が配設され、電源装置に接続された該高電圧電極と該接地電極に電圧を印加することによって該誘電体管の内壁と流体もしくは該誘電体管の内壁と該通水管との間に放電を生起させる。また、前記誘電体管、前記通水管、前記供給されるガスを導入する導入口の連結がアスピレータ構造に形成されている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

供給されるガスに電圧を印加することによって誘電体管内の放電によりプラズマを生成させる方法において、高電圧電極が該誘電体管の外側に配設され、該誘電体管の内周に間隙を持った状態で該誘電体管内へ吐出される流体に接地電極が配設され、電源装置に接続された該高電圧電極と該接地電極に電圧を印加することによって該誘電体管の内壁と該流体との間に放電を生起させることを特徴とするプラズマ生成方法。

IPC (3件)：

H05H 1/24 ,  C01B 13/11 ,  C01B 13/10

FI (4件)：

H05H1/24 ,  C01B13/11 B ,  C01B13/10 D ,  C01B13/11 J

Fターム (7件)：

4G042CA01 ,  4G042CC03 ,  4G042CC07 ,  4G042CC10 ,  4G042CC16 ,  4G042CC18 ,  4G042CE01