特許
J-GLOBAL ID：201403058360449177
アモルファスカーボン薄膜作製方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
三好 秀和
, 高橋 俊一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-279333
公開番号（公開出願番号）：特開2013-082619
特許番号：特許第5392932号
出願日： 2012年12月21日
公開日（公表日）： 2013年05月09日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 超臨界流体セルの流体層内に二酸化炭素及び炭化水素を封入し、超臨界状態を形成する工程と、
前記流体層内に、波長248nm、266nm、又は355nmのレーザー光を照射する工程と、
を含むことを特徴とするアモルファスカーボン薄膜作製方法。
IPC (2件)：
C01B 31/02 ( 200 6.01)
, H01L 21/314 ( 200 6.01)
C01B 31/02 101 Z
, H01L 21/314 A
