特許
J-GLOBAL ID：201403058533461992

ロードポート装置

発明者：
五十嵐 宏

五十嵐 宏 について

, 
及川 光壱郎

及川 光壱郎 について

, 
工藤 拓哉

工藤 拓哉 について


出願人/特許権者：
TDK株式会社

TDK株式会社 について


代理人 (5件)： 岡部 讓 ,  臼井 伸一 ,  越智 隆夫 ,  吉澤 弘司 ,  齋藤 正巳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-188344
公開番号（公開出願番号）：特開2014-049453
出願日： 2012年08月29日
公開日（公表日）： 2014年03月17日
要約：
【課題】 ロードポート装置の梱包及び運搬の操作の容易化を図る。【解決手段】 ロードポート装置を、開口部を有する上部構造体と、開口部を閉鎖可能なドア、ドア駆動源、ポッドを前記開口部と正対させて載置可能な載置テーブル、ドア駆動源及び載置テーブルを支持するフレーム構造体を有する下部構造体と、から構成し、且つ該上部構造体は該下部構造体に対して分離可能に固定されることとする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
開口部を除いて微小空間の一面を閉鎖するように取付け面に固定されて前記微小空間と外部空間とを分離し、前記外部空間に配置されて収容物を収容したポッドの蓋を開閉して前記ポッドの内部空間と前記微小空間とを連通させるロードポート装置であって、 前記開口部を有する上部構造体と、 前記開口部を閉鎖可能なドアと、前記ドアを支持して前記ドアの前記開口部に対する接近及び離間を為して前記開口部の開閉を行うドア駆動機構と、前記ポッドを前記開口部と正対させて前記ポッドの蓋の開閉が可能となるように載置可能な載置テーブルと、平行に配置される複数の板状のメインベースと前記複数のメインベース各々を連結させる連結部材とからなり前記ドア駆動機構及び前記載置テーブルを支持すると共に前記取付け面に固定されるフレーム構造体と、を有する下部構造体と、を有し 前記上部構造体は前記下部構造体に対して分離可能に固定されることを特徴とするロードポート装置。
IPC (1件)：
H01L 21/677
FI (1件)：
H01L21/68 A
Fターム (10件)：
5F131AA02 ,  5F131CA22 ,  5F131CA38 ,  5F131DA32 ,  5F131DA42 ,  5F131GA13 ,  5F131GA82 ,  5F131HA04 ,  5F131HA28 ,  5F131HA29
引用特許：
審査官引用 (5件)
  • 容器開閉装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-330033   出願人：平田機工株式会社
  • ロードポート装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2010-193286   出願人：TDK株式会社
  • ロードポート装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2010-202676   出願人：TDK株式会社
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