電気光学セラミックスの製造方法及び電気光学セラミックス

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：特許業務法人安富国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-001345
公開番号（公開出願番号）：特開2014-133670
出願日： 2013年01月08日
公開日（公表日）： 2014年07月24日
要約：

【課題】常圧の焼結プロセスを用いることにより、透明性が高く、優れた電気光学特性を示す電気光学セラミックスの製造方法を提供する。【解決手段】化学式(1)(1-X)(Pb1-YLaY)(Mg1/3Nb2/3)O3-X(Pb1-YLaY)TiO3(0.05≦X≦0.15、0<Y≦0.05)、又は、化学式(2)(1-Z)Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-ZPbTiO3(0.05≦Z≦0.15)で表わされる電気光学セラミックスの製造方法であって、Mg、Nb酸化物粉末を用い、コロンバイト酸化物粉末製造工程と、得られたコロンバイト酸化物粉末にPb、Ti、Laの酸化物粉末又はPb、Tiの酸化物粉末を添加し、混合、粉砕した後、仮焼する工程と、前記仮焼粉末を直径が0.5mm以下のジルコニアボールを用いボールミルにより再粉砕する工程と、成形工程と、脱脂後、常圧下、酸素を含有する雰囲気中で本焼成する工程とを含む。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

下記化学式(1) (1-X)(Pb1-YLaY)(Mg1/3Nb2/3)O3-X(Pb1-YLaY)TiO3・・・(1)(但し、0.05≦X≦0.15、0<Y≦0.05)、又は、下記化学式(2) (1-Z)Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-ZPbTiO3・・・(2)(但し、0.05≦Z≦0.15) で表わされる電気光学セラミックスの製造方法であって、 Mg及びNbの酸化物粉末を用いてコロンバイト酸化物を含む粉末を得るコロンバイト酸化物粉末製造工程と、得られた前記コロンバイト酸化物を含む粉末にPb、Ti及びLaの酸化物粉末、又は、Pb及びTiの酸化物粉末を添加し、得られた原料粉末を混合、粉砕した後、仮焼する粉砕・仮焼工程と、前記粉砕・仮焼工程を経た仮焼粉末を、直径が0.5mm以下のジルコニアボールを用いたボールミルにより再粉砕する再粉砕工程と、前記再粉砕工程を経た原料粉末を成形する成形工程と、前記成形工程を経た成形体を脱脂した後、常圧下、酸素を含有する雰囲気中で本焼成する本焼成工程とを含むことを特徴とする電気光学セラミックスの製造方法。

IPC (3件)：

C04B 35/00 , C04B 35/645 , C04B 35/46

FI (3件)：

C04B35/00 J , C04B35/64 302B , C04B35/46 Z

Fターム (41件)：

4G030AA07 , 4G030AA13 , 4G030AA16 , 4G030AA20 , 4G030AA40 , 4G030BA15 , 4G030BA16 , 4G030CA01 , 4G030CA04 , 4G030GA01 , 4G030GA03 , 4G030GA04 , 4G030GA08 , 4G030GA09 , 4G030GA11 , 4G030GA14 , 4G030GA19 , 4G030GA22 , 4G030GA25 , 4G030GA27 , 4G030GA28 , 4G030GA29 , 4G030GA31 , 4G031AA03 , 4G031AA09 , 4G031AA11 , 4G031AA14 , 4G031AA32 , 4G031BA15 , 4G031BA16 , 4G031CA01 , 4G031CA04 , 4G031GA01 , 4G031GA02 , 4G031GA03 , 4G031GA04 , 4G031GA06 , 4G031GA09 , 4G031GA11 , 4G031GA12 , 4G031GA14

引用特許：

審査官引用 (4件)

基板処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-351688 出願人：東京エレクトロン株式会社
薄板状材料の搬送方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-302144 出願人：株式会社日本設計工業
基板搬送方法および装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-173639 出願人：株式会社日立製作所

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引用文献：

審査官引用 (2件)

セラミック工学ハンドブック(第2版), 20020331, 2版, p.183
セラミック工学ハンドブック(第2版), 20020331, 2版, p.183

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