特許
J-GLOBAL ID:201403058720347192
基板作業システム、基板搬送装置および基板作業装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
宮園 博一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-251390
公開番号(公開出願番号):特開2014-099555
出願日: 2012年11月15日
公開日(公表日): 2014年05月29日
要約:
【課題】基板搬送装置の基板搬送部の段取りを行う際に、異物が外部の基板作業装置に進入することを防止することが可能な基板作業システム、基板搬送装置および基板作業装置を提供する。【解決手段】この基板作業システムは、基板3に対して作業を行う印刷機2と、基板3を搬送する基板搬送部12および基板搬送部13と、基板搬送部12および基板搬送部13を覆うカバー部材11とを含み、印刷機2に接続された、バッファコンベア1とを備える。そして、バッファコンベア1には、基板搬送部12の段取りを行う際に、基板搬送部12側から印刷機2側に通じる開口隙間が無くなるように閉じるシャッター装置113aが設けられている。【選択図】図5
請求項(抜粋):
基板に対して作業を行う基板作業装置と、
前記基板を所定方向に搬送する第1基板搬送部と、前記第1基板搬送部に前記所定方向と直交する方向に隣接して配置されて前記基板を搬送する第2基板搬送部と、前記第1基板搬送部および前記第2基板搬送部を覆うカバー部材とを含み、前記基板作業装置に接続された、基板搬送装置とを備え、
前記基板作業装置または前記基板搬送装置の少なくとも一方には、前記第1基板搬送部の段取りを行う際に、前記第1基板搬送部側から前記基板作業装置側に通じる開口隙間の最大間隔が所定値以下となるように閉じるシャッター装置が設けられている、基板作業システム。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (7件):
5E313AA11
, 5E313DD01
, 5E313DD02
, 5E313DD07
, 5E313DD12
, 5E313DD50
, 5E313FG05
引用特許:
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