特許

J-GLOBAL ID：201403059343880782

荷電粒子線装置

発明者： 三藤 啓明 ,  菅野 誠一郎
出願人/特許権者： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
代理人 (3件)： 井上 学 ,  戸田 裕二 ,  岩崎 重美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-055876
公開番号（公開出願番号）：特開2014-182903
出願日： 2013年03月19日
公開日（公表日）： 2014年09月29日
要約：

【課題】残留吸着力によって静電チャックの試料吸着面と、試料が吸着している場合において、試料を適切に取り扱うことのできる荷電粒子線装置を提供する。【解決手段】静電チャックを備えた荷電粒子線装置であって、静電チャックから試料を離脱させる試料離脱機構と、試料電位の変化に応じて変化するパラメータを評価する制御装置を備え、当該制御装置は、静電チャックによる試料吸着後の第1のパラメータと、当該第1のパラメータ取得後であって、試料離脱機構による試料離脱前の第2のパラメータを比較し、当該パラメータの変化が所定値以上、或いは所定値を超えている場合に、前記試料離脱機構による試料離脱を停止し、当該パラメータの変化が所定値未満、或いは所定値以上である場合には、前記試料離脱機構による試料離脱を実行する荷電粒子線装置。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

試料を保持するための静電チャックを備えた荷電粒子線装置において、 前記静電チャックから試料を離脱させる試料離脱機構と、試料電位の変化に応じて変化するパラメータを評価する制御装置を備え、当該制御装置は、前記静電チャックによる試料吸着後の第1のパラメータと、当該第1のパラメータ取得後であって、前記試料離脱機構による試料離脱前の第2のパラメータを比較し、当該パラメータの変化が所定値以上、或いは所定値を超えている場合に、前記試料離脱機構による試料離脱を停止し、当該パラメータの変化が所定値未満、或いは所定値以上である場合には、前記試料離脱機構による試料離脱を実行することを特徴とする荷電粒子線装置。

IPC (2件)：

H01J 37/28 ,  H01J 37/20

FI (2件)：

H01J37/28 B ,  H01J37/20 D

Fターム (5件)：

5C001AA08 ,  5C001CC04 ,  5C033UU03 ,  5C033UU04 ,  5C033UU10