特許

J-GLOBAL ID：201403059622806215

レーザ加工装置

発明者： 南 功治
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人深見特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-174846
公開番号（公開出願番号）：特開2014-034035
出願日： 2012年08月07日
公開日（公表日）： 2014年02月24日
要約：

【課題】加工ラインの線幅を簡易にかつ高精度に制御することが可能なレーザ加工装置を提供する。【解決手段】レーザ加工装置は、レーザ光を照射することで被処理基板10を加工するものであって、レーザ光源1と、基板保持部9と、レーザ光を集束して被処理基板10に照射する光照射部4a〜4hと、レーザ光を光照射部4a〜4hに導入する光導入部3a〜3hとを備える。光照射部4a〜4hは、第1集光レンズ13a〜13hと、光軸方向に沿って光導入部3a〜3hの出射端からの距離が一定に保たれた第2集光レンズ14a〜14hと、開口絞り15a〜15hとを有する。レーザ加工装置は、第1集光レンズ13aおよび開口絞り15aのうちの少なくとも一方を光軸方向に沿って移動させる。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

被処理基板の主面の法線方向に沿ってレーザ光を照射することで被処理基板を加工するレーザ加工装置であって、 レーザ光を出射するレーザ光源と、 被処理基板を保持する基板保持部と、 前記レーザ光源から出射されたレーザ光を集束して前記基板保持部によって保持された被処理基板に照射する光照射部と、 前記レーザ光源から出射されたレーザ光を前記光照射部に導入する光導入部と、 前記基板保持部によって保持された被処理基板の主面に平行な方向である第1方向に沿って前記光照射部を移動させる第1移動機構とを備え、 前記光導入部は、前記レーザ光源から出射されたレーザ光が入射する入射端と、入射したレーザ光を前記光照射部に向けて出射する出射端とを有し、 前記光照射部は、光軸方向に沿って前記光導入部側に位置する第1集光レンズと、光軸方向に沿って前記第1集光レンズよりも前記基板保持部側に位置し、光軸方向に沿った前記光導入部の前記出射端からの距離が一定に保たれた第2集光レンズと、レーザ光が通過する開口が設けられた開口絞りとを有し、 前記第1集光レンズおよび前記開口絞りのうちの少なくとも一方を光軸方向に沿って移動させる第2移動機構をさらに備えた、レーザ加工装置。

IPC (4件)：

B23K 26/06 ,  B23K 26/082 ,  B23K 26/064 ,  B23K 26/066

FI (6件)：

B23K26/073 ,  B23K26/08 B ,  B23K26/08 K ,  B23K26/067 ,  B23K26/06 A ,  B23K26/06 J

Fターム (14件)：

4E068AC00 ,  4E068CA03 ,  4E068CA07 ,  4E068CA09 ,  4E068CA17 ,  4E068CB08 ,  4E068CD02 ,  4E068CD04 ,  4E068CD05 ,  4E068CD10 ,  4E068CD16 ,  4E068CE03 ,  4E068CE08 ,  4E068DA09