ケイ素微粒子の製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：三好秀和 , 岩▲崎▼ 幸邦 , 高橋俊一 , 伊藤正和 , 高松俊雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-026895
公開番号（公開出願番号）：特開2014-156363
出願日： 2013年02月14日
公開日（公表日）： 2014年08月28日
要約：

【課題】本発明によれば、収率の高いケイ素微粒子の製造方法を提供することができる。【解決手段】本発明に係るケイ素微粒子の製造方法は、非炭素物質によって形成された領域内で、不活性雰囲気下において、加熱手段によって、ケイ素源及び炭素源を含む混合物を乾燥することによって得られた前駆体を加熱する工程Aと、非炭素物質によって形成された領域内で、不活性雰囲気下において、前記前駆体を加熱することによって生成されたガスを急冷して、ケイ素微粒子と酸化ケイ素微粒子と炭化ケイ素微粒子とを含む混合粉体を得る工程Bと、フッ酸を含むエッチング溶液に前記混合粉体を浸漬させて、エッチングする工程Cと、前記エッチング溶液に前記混合粉体を浸漬させることによって得られた生成溶液を濾過して、前記生成溶液に含まれる前記ケイ素微粒子を抽出する工程Dとを有する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ケイ素微粒子の製造方法であって、非炭素物質によって形成された領域内で、不活性雰囲気下において、加熱手段によって、ケイ素源及び炭素源を含む混合物を乾燥することによって得られた前駆体を加熱する工程Aと、非炭素物質によって形成された領域内で、不活性雰囲気下において、前記前駆体を加熱することによって生成されたガスを急冷して、ケイ素微粒子と酸化ケイ素微粒子と炭化ケイ素微粒子とを含む混合粉体を得る工程Bと、フッ酸を含むエッチング溶液に前記混合粉体を浸漬させて、エッチングする工程Cと、前記エッチング溶液に前記混合粉体を浸漬させることによって得られた生成溶液を濾過して、前記生成溶液に含まれる前記ケイ素微粒子を抽出する工程Dとを有することを特徴とするケイ素微粒子の製造方法。

IPC (2件)：

C01B 33/02 , C01B 33/18

FI (2件)：

C01B33/02 Z , C01B33/18 Z

Fターム (34件)：

4G072AA01 , 4G072BB05 , 4G072BB12 , 4G072CC08 , 4G072DD06 , 4G072DD07 , 4G072GG03 , 4G072HH13 , 4G072HH14 , 4G072HH30 , 4G072JJ47 , 4G072LL01 , 4G072LL02 , 4G072LL03 , 4G072MM01 , 4G072MM03 , 4G072MM21 , 4G072MM22 , 4G072MM24 , 4G072MM31 , 4G072NN01 , 4G072NN27 , 4G072QQ06 , 4G072RR02 , 4G072RR04 , 4G072RR11 , 4G072RR21 , 4G072RR22 , 4G072RR25 , 4G072RR26 , 4G072TT01 , 4G072UU04 , 4G072UU07 , 4G072UU30

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