特許

J-GLOBAL ID：201403060631045373

ハンドラーおよび検査装置

発明者： 宮本 治彦
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  宮坂 一彦 ,  渡辺 和昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-071591
公開番号（公開出願番号）：特開2014-196908
出願日： 2013年03月29日
公開日（公表日）： 2014年10月16日
要約：

【課題】ソケットに載置された搬送対象物に対する搬送動作を行なった後に、当該搬送対象物がソケットに残留しているか否かを検出するに際し、できる限り少ない情報量で迅速にその検出を確実に行なうことができるハンドラーおよび検査装置を提供すること。【解決手段】ハンドラーは、ICデバイス100が載置されていない状態で撮像部によって撮像された検査用ソケット6の第1画像中のスリット光601、602が照射された第1照射位置P1およびP2と、ICデバイス100を搬送した搬送動作後の第2画像20A中のスリット光601、602が照射された第2照射位置P1’およびP2’とを差Δdを検出して、搬送動作後の検査用ソケット6上のICデバイス100の有無を判断する制御部とを備える。【選択図】図17

請求項（抜粋）：

搬送対象物を載置可能なソケットが設置されるソケット設置部と、 前記搬送対象物を前記ソケットから別の位置に搬送する搬送動作を行なう搬送部と、 前記搬送動作の前後に前記ソケットに向けて光を照射する光照射部と、 前記光照射部からの前記光が照射された状態で前記ソケットを撮像する撮像部と、 前記搬送対象物が載置されていない状態で前記撮像部によって撮像された前記ソケットの第1画像中の前記光が照射された第1照射位置と、前記搬送動作後に前記撮像部によって撮像された前記ソケットの第2画像中の前記光が照射された第2照射位置とを差を検出して、前記搬送動作後の前記ソケット上の前記搬送対象物の有無を判断する制御部と、を備えることを特徴とするハンドラー。

IPC (1件)：

G01R 31/26

FI (1件)：

G01R31/26 Z

Fターム (10件)：

2G003AF02 ,  2G003AF03 ,  2G003AF07 ,  2G003AF08 ,  2G003AG01 ,  2G003AG13 ,  2G003AH01 ,  2G003AH02 ,  2G003AH03 ,  2G003AH04