特許

J-GLOBAL ID：201403060644871922

固体撮像素子及び固体撮像素子の製造方法

発明者： 山田 和也
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 政木 良文
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-082801
公開番号（公開出願番号）：特開2014-207273
出願日： 2013年04月11日
公開日（公表日）： 2014年10月30日
要約：

【課題】 簡易的な構造でクロストークを抑制することが可能な固体撮像素子及びその製造方法を提供する。【解決手段】 固体撮像素子1は、入射する光を光電変換して電荷を生成する複数の光電変換部11が形成された基板10と、それぞれの光電変換部11の上方に設けられ所定の色の光を選択的に透過させて下方の光電変換部11に入射させる複数のカラーフィルタ25R,25Gと、基板10とカラーフィルタ25R,25Gとの間に設けられた層であり層内の位置に応じて透過する光の位相を異ならせることでカラーフィルタ25R,25Gの周縁部の下方で光を干渉させて弱める位相シフト層24と、備える。【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

入射する光を光電変換して電荷を生成する複数の光電変換部が形成された基板と、 それぞれの前記光電変換部の上方に設けられ、所定の色の光を選択的に透過させて下方の前記光電変換部に入射させる複数のカラーフィルタと、 前記基板と前記カラーフィルタとの間に設けられた層であり、層内の位置に応じて透過する光の位相を異ならせることで、前記カラーフィルタの周縁部の下方で光を干渉させて弱める位相シフト層と、 を備えることを特徴とする固体撮像素子。

IPC (2件)：

H01L 27/14 ,  H04N 5/369

FI (2件)：

H01L27/14 D ,  H04N5/335 690

Fターム (23件)：

4M118AB01 ,  4M118BA10 ,  4M118CA03 ,  4M118DA20 ,  4M118EA01 ,  4M118EA14 ,  4M118FA26 ,  4M118FA35 ,  4M118GB03 ,  4M118GB08 ,  4M118GB11 ,  4M118GC01 ,  4M118GC07 ,  4M118GC08 ,  4M118GC14 ,  4M118GC17 ,  4M118GC20 ,  4M118GD04 ,  4M118GD07 ,  5C024CX11 ,  5C024CY47 ,  5C024EX42 ,  5C024EX52