特許

J-GLOBAL ID：201403061516344916

テラヘルツ波検出装置、カメラ、イメージング装置、および計測装置

発明者： 冨岡 紘斗
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  宮坂 一彦 ,  渡辺 和昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-031789
公開番号（公開出願番号）：特開2014-163674
出願日： 2013年02月21日
公開日（公表日）： 2014年09月08日
要約：

【課題】電気的なノイズによる検出感度の低下を抑制したテラヘルツ波検出装置を提供する。【解決手段】本発明に係るテラヘルツ波検出装置100は、テラヘルツ波を吸収して熱を発生させる吸収部60と、吸収部60にて発生した熱を電気信号に変換する変換部30と、を含み、吸収部60は、誘電体層62と、誘電体層62の一方の面62aに設けられ、かつ、互いに離間して所定の長さの周期で複数配列されている金属構造体64と、誘電体層62の他方の面62bに設けられている金属層36と、を有し、金属構造体64の所定の長さの周期は、吸収部60に吸収されるテラヘルツ波の波長よりも小さい。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

テラヘルツ波を吸収して熱を発生させる吸収部と、 前記吸収部にて発生した熱を電気信号に変換する変換部と、 を含み、 前記吸収部は、 誘電体層と、 前記誘電体層の一方の面に設けられ、かつ、互いに離間して所定の長さの周期で複数配列されている金属構造体と、 前記誘電体層の他方の面に設けられている金属層と、 を有し、 前記金属構造体の前記所定の長さの周期は、前記吸収部に吸収される前記テラヘルツ波の波長よりも小さい、ことを特徴とするテラヘルツ波検出装置。

IPC (4件)：

G01J 1/02 ,  G01N 21/358 ,  H01Q 17/00 ,  H01L 27/144

FI (5件)：

G01J1/02 C ,  G01J1/02 Y ,  G01N21/35 105 ,  H01Q17/00 ,  H01L27/14 K

Fターム (30件)：

2G059AA01 ,  2G059AA05 ,  2G059BB08 ,  2G059EE01 ,  2G059EE02 ,  2G059EE11 ,  2G059FF01 ,  2G059GG01 ,  2G059GG10 ,  2G059HH01 ,  2G059JJ01 ,  2G059KK09 ,  2G059LL02 ,  2G065AA04 ,  2G065AB03 ,  2G065BA13 ,  2G065BA34 ,  2G065BB25 ,  4M118AA05 ,  4M118AB01 ,  4M118CA16 ,  4M118CB05 ,  4M118FA06 ,  4M118GA10 ,  4M118GD03 ,  4M118HA30 ,  5J020EA03 ,  5J020EA04 ,  5J020EA07 ,  5J020EA10

引用文献：

審査官引用 (1件)

• Strong terahertz absorption using SiO2/Al based metamaterial structures