特許

J-GLOBAL ID：201403061593364415

変位計測装置及び変位計測方法

発明者： 小山 勝弘
出願人/特許権者： 太陽誘電株式会社
代理人 (7件)： 大森 純一 ,  折居 章 ,  山田 大樹 ,  中村 哲平 ,  金子 彩子 ,  吉田 望 ,  金山 慎太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-048554
公開番号（公開出願番号）：特開2014-102260
出願日： 2014年03月12日
公開日（公表日）： 2014年06月05日
要約：

【課題】変位を正確に計測することができる変位計測装置及びこれに用いられる変位計測方法を提供すること。【解決手段】第1のPD31は、一対の回折格子20から出力された干渉光30の干渉縞による光量変化に対応する電流を、出力信号として演算回路40に出力する。第2のPD32は、一対の回折格子20の動き、つまり変位Xに依らない非干渉光である直進光24を検出する。演算回路40は、第2のPD32により得られた信号に基づき、第1のPD31から入力された信号を補正することで、補正された変位Xの値を出力する。第2のPD32で検出される光は、変位Xによらない非干渉光であるので、演算回路40は、第2のPD32の出力信号に応じたLD12の出力変動を得ることができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

光源と、 光軸に沿って相対的に移動可能に対向して設けられ、前記光源から出射された光が入射する一対の回折格子と、 前記一対の回折格子のそれぞれの回折格子素子から出射された回折光による干渉光を検出する第1の光センサと、 前記一対の回折格子から出射された非干渉光を検出する第2の光センサと、 前記第2の光センサにより得られた信号に基づき、前記第1の光センサにより得られた信号を補正する補正手段と を具備する変位計測装置。

IPC (3件)：

G01B 11/00 ,  G01B 9/02 ,  G01D 5/38

FI (3件)：

G01B11/00 G ,  G01B9/02 ,  G01D5/38 A

Fターム (35件)：

2F064AA01 ,  2F064BB03 ,  2F064CC01 ,  2F064DD08 ,  2F064EE08 ,  2F064FF10 ,  2F064HH06 ,  2F064HH10 ,  2F065AA02 ,  2F065AA06 ,  2F065AA09 ,  2F065AA20 ,  2F065DD03 ,  2F065EE03 ,  2F065FF48 ,  2F065FF51 ,  2F065GG04 ,  2F065GG06 ,  2F065HH03 ,  2F065JJ18 ,  2F065JJ23 ,  2F065LL04 ,  2F065LL42 ,  2F103BA06 ,  2F103BA28 ,  2F103BA37 ,  2F103BA41 ,  2F103CA04 ,  2F103CA08 ,  2F103EB02 ,  2F103EB03 ,  2F103EB06 ,  2F103EB12 ,  2F103EB16 ,  2F103EC03

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特許第5502963号
  
• 特開昭62-190725
  

審査官引用 (1件)

• 特許第5502963号