特許

J-GLOBAL ID：201403061642003946

半導体装置

発明者： 佐藤 政春
出願人/特許権者： ルネサスエレクトロニクス株式会社
代理人 (2件)： 速水 進治 ,  天城 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-111374
公開番号（公開出願番号）：特開2014-229885
出願日： 2013年05月27日
公開日（公表日）： 2014年12月08日
要約：

【課題】LDMOSと、LDMOSに接続されたESD保護素子と、が形成されたチップサイズを縮小させる。【解決手段】トランジスタQ1は、p型領域PRに形成されている。保護素子ESDは、n型領域NRに形成されている。そしてp型シンカー層PSKが、平面視でp型領域PRとn型領域NRとを仕切ることなくp型領域PRとn型領域NRとを囲うように形成されている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

第1の第1導電型領域と、平面視で前記第1の第1導電型領域と異なる領域に形成された第1の第2導電型領域と、が形成された表層を有する基板と、 前記第1の第1導電型領域に形成された第1素子と、 前記第1の第2導電型領域に形成された第2素子と、 平面視で前記第1の第1導電型領域と前記第1の第2導電型領域とを仕切ることなく前記第1の第1導電型領域と前記第1の第2導電型領域とを囲うように前記基板の表層に形成され、前記第1の第1導電型領域と前記第1の第2導電型領域とを前記基板の表層の他の領域から電気的に絶縁する第1導電型分離領域と、 を備え、 前記第1素子は、 前記第1の第1導電型領域の表層に形成され、前記第1の第1導電型領域よりも高い不純物濃度を有する第1の第1導電型不純物領域と、 前記第1の第1導電型不純物領域の表層に形成された第1の第2導電型不純物領域と、 前記第1の第1導電型領域の表層に形成され、平面視で前記第1の第1導電型不純物領域を介して前記第1の第2導電型不純物領域と対向している第2の第2導電型不純物領域と、 前記第2の第2導電型不純物領域の表層に形成され、前記第2の第2導電型不純物領域よりも高い不純物濃度を有する第3の第2導電型不純物領域と、 平面視で前記第1の第2導電型不純物領域と前記第2の第2導電型不純物領域との間で前記第1の第1導電型不純物領域を覆うゲート絶縁膜と、 前記ゲート絶縁膜の上に形成されたゲート電極と、 を含み、 前記第2素子は、 上面が前記第1の第2導電型領域に接している第2導電型埋込層と、 前記第1の第2導電型領域の表層に形成され、底部が前記第2導電型埋込層と接続している第4の第2導電型不純物領域と、 前記第1の第2導電型領域の表層に形成され、底部が前記第1の第2導電型領域よりも浅い第2の第1導電型不純物領域と、 前記第1の第2導電型領域の表層に形成され、平面視で前記第1の第2導電型領域を介して前記第2の第1導電型不純物領域と対向するように形成され、底部が前記第1の第2導電型領域よりも浅い第3の第1導電型不純物領域と、 前記第3の第1導電型不純物領域の表層に形成された第5の第2導電型不純物領域と、 前記第2の第1導電型不純物領域と、前記第4の第2導電型不純物領域と、に電気的に接続された第1配線と、 前記第3の第1導電型不純物領域と、前記第5の第2導電型不純物領域と、に電気的に接続された第2配線と、 を含む半導体装置。

IPC (7件)：

H01L 27/06 ,  H01L 21/823 ,  H01L 27/088 ,  H01L 21/822 ,  H01L 27/04 ,  H01L 21/336 ,  H01L 29/78

FI (6件)：

H01L27/06 311C ,  H01L27/06 311B ,  H01L27/08 102B ,  H01L27/04 H ,  H01L29/78 301K ,  H01L29/78 301D

Fターム (57件)：

5F038BH04 ,  5F038BH06 ,  5F038BH13 ,  5F038CA02 ,  5F038EZ06 ,  5F038EZ12 ,  5F038EZ13 ,  5F038EZ14 ,  5F038EZ16 ,  5F038EZ20 ,  5F048AA01 ,  5F048AA02 ,  5F048AC01 ,  5F048BA07 ,  5F048BA12 ,  5F048BB02 ,  5F048BB05 ,  5F048BB20 ,  5F048BC02 ,  5F048BC03 ,  5F048BD09 ,  5F048BE02 ,  5F048BE03 ,  5F048BE04 ,  5F048BF16 ,  5F048BF18 ,  5F048BG12 ,  5F048BG13 ,  5F048CC06 ,  5F048CC10 ,  5F048CC13 ,  5F048CC18 ,  5F140AA00 ,  5F140AA38 ,  5F140AB04 ,  5F140AB06 ,  5F140AB07 ,  5F140AC21 ,  5F140BA01 ,  5F140BA16 ,  5F140BC12 ,  5F140BD04 ,  5F140BD09 ,  5F140BD13 ,  5F140BD18 ,  5F140BF04 ,  5F140BF05 ,  5F140BF08 ,  5F140BF10 ,  5F140BG08 ,  5F140BG12 ,  5F140BG14 ,  5F140BG32 ,  5F140BK13 ,  5F140CB01 ,  5F140CB04 ,  5F140CB08