搬送システム

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：田下明人 , 立石克彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-258842
公開番号（公開出願番号）：特開2014-107396
出願日： 2012年11月27日
公開日（公表日）： 2014年06月09日
要約：

【課題】本来の工程と異なる工程の製造装置に被搬送物を搬送する場合でも工程間搬送にかかる搬送時間の増大を抑制し得る搬送システムを提供する。【解決手段】搬送システム40は、工程間搬送手段として機能するOHT41と、第1工程20内にて工程内搬送手段として被搬送物を搬送可能なRGV42と、第2工程30内にて工程内搬送手段として被搬送物を搬送可能なRGV43と、RGV42およびRGV43の双方によりそれぞれ被搬送物を受け渡し可能な位置に配置される中継受渡部44と、を備えている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

それぞれ複数の製造装置(21,22a〜22h,31,32a〜32h)を有する第1工程(20)および第2工程(30)を含めた各工程に対して被搬送物を工程間搬送する工程間搬送手段(41)を有する搬送システム(40)であって、前記工程間搬送手段により搬送されてきた被搬送物が載置される第1受渡部(23)と前記第1工程のいずれかの製造装置との間および前記第1工程の製造装置同士間にて前記被搬送物を搬送可能な第1搬送台車(42)と、前記工程間搬送手段により搬送されてきた被搬送物が載置される第2受渡部(33)と前記第2工程のいずれかの製造装置との間および前記第2工程の製造装置同士間にて前記被搬送物を搬送可能な第2搬送台車(43)と、前記第1搬送台車および前記第2搬送台車によりそれぞれ被搬送物を受け渡し可能な位置に配置される中継受渡部(44,46)と、を備えることを特徴とする搬送システム。

IPC (2件)：

H01L 21/677 , B65G 47/52

FI (2件)：

H01L21/68 A , B65G47/52 101Z

Fターム (39件)：

3F044AA13 , 3F044AB21 , 3F044BA07 , 3F044CE02 , 3F044CE08 , 3F044CE11 , 3F044CE26 , 3F044CE30 , 3F044CE40 , 3F044CF03 , 5F131AA02 , 5F131BA22 , 5F131BA37 , 5F131BB03 , 5F131CA32 , 5F131DA05 , 5F131DA22 , 5F131DA23 , 5F131DA33 , 5F131DA36 , 5F131DA42 , 5F131DB51 , 5F131DB72 , 5F131DB76 , 5F131DC03 , 5F131DC06 , 5F131DD02 , 5F131DD03 , 5F131DD43 , 5F131DD93 , 5F131GA14 , 5F131GA19 , 5F131GB02 , 5F131GB13 , 5F131GB22 , 5F131HA02 , 5F131KA11 , 5F131KB54 , 5F131KB58

引用特許：

出願人引用 (4件)

処理装置
公報種別：再公表公報出願番号：JP2001002922 出願人：東京エレクトロン株式会社
搬送システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-120563 出願人：神鋼電機株式会社
特開平4-352343

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審査官引用 (4件)

処理装置
公報種別：再公表公報出願番号：JP2001002922 出願人：東京エレクトロン株式会社
搬送システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-120563 出願人：神鋼電機株式会社
特開平4-352343

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