フレキシブル半導体装置及びその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：鮫島睦 , 田村恭生 , 江間晴彦
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2012001151
公開番号（公開出願番号）：WO2012-127779
出願日： 2012年02月21日
公開日（公表日）： 2012年09月27日
要約：

(i)金属箔の一方の主面上に絶縁層を形成する工程;(ii)絶縁層の上にて半導体層を形成すると共に、半導体層と接するようにソース電極・ドレイン電極を形成する工程;(iii)半導体層およびソース電極・ドレイン電極を覆うように可撓性フィルム層を形成する工程;(iv)可撓性フィルム層にビアを形成し、それによって、半導体装置前駆体を得る工程;ならびに(v)金属箔を加工して金属箔からゲート電極を形成する工程を含んで成り、工程(v)の金属箔の加工に際しては、半導体装置前駆体のビアの少なくとも1つを位置決めマーカーとして用いることによって、ゲート電極を所定位置に形成することを特徴とする、フレキシブル半導体装置の製造方法。

請求項（抜粋）：

フレキシブル半導体装置を製造するための方法であって、 (i)金属箔の一方の主面上に絶縁層を形成する工程; (ii)前記絶縁層の上にて半導体層を形成すると共に、該半導体層と接するようにソース電極・ドレイン電極を形成する工程; (iii)前記半導体層および前記ソース電極・ドレイン電極を覆うように可撓性フィルム層を形成する工程; (iv)前記可撓性フィルム層にビアを形成し、それによって、半導体装置前駆体を得る工程;ならびに (v)前記金属箔を加工して該金属箔からゲート電極を形成する工程を含んで成り、前記工程(v)の金属箔の加工に際しては、前記半導体装置前駆体の前記ビアの少なくとも1つを位置決めマーカーとして用いることによって、前記ゲート電極を所定位置に形成することを特徴とする、フレキシブル半導体装置の製造方法。

IPC (11件)：

H01L 21/336 , H01L 29/786 , H01L 21/768 , H01L 23/532 , H01L 51/50 , H05B 33/14 , H05B 33/10 , H05B 33/12 , G09F 9/00 , G09F 9/30 , H01L 27/32

FI (16件)：

H01L29/78 627C , H01L29/78 619A , H01L29/78 617J , H01L21/90 S , H01L21/90 A , H05B33/14 A , H05B33/14 Z , H05B33/10 , H05B33/12 E , G09F9/00 338 , G09F9/30 338 , G09F9/30 365Z , H01L29/78 617M , H01L29/78 617T , H01L29/78 617U , H01L29/78 626C

Fターム (138件)：

3K107AA01 , 3K107AA05 , 3K107BB01 , 3K107CC41 , 3K107CC43 , 3K107CC45 , 3K107DD16 , 3K107DD17 , 3K107EE04 , 3K107EE22 , 3K107GG54 , 5C094AA43 , 5C094BA03 , 5C094BA27 , 5C094BA41 , 5C094CA19 , 5C094CA23 , 5C094DA06 , 5C094DA11 , 5C094DB04 , 5C094EA04 , 5C094EA05 , 5C094FA02 , 5C094FB01 , 5C094FB12 , 5C094FB14 , 5C094FB15 , 5C094FB20 , 5C094HA08 , 5F033GG00 , 5F033GG01 , 5F033GG02 , 5F033HH07 , 5F033HH08 , 5F033HH11 , 5F033HH14 , 5F033HH15 , 5F033JJ07 , 5F033JJ08 , 5F033JJ11 , 5F033JJ13 , 5F033JJ14 , 5F033JJ15 , 5F033JJ16 , 5F033KK07 , 5F033KK11 , 5F033KK13 , 5F033KK14 , 5F033KK15 , 5F033KK16 , 5F033KK18 , 5F033KK19 , 5F033KK20 , 5F033KK35 , 5F033MM30 , 5F033PP00 , 5F033PP26 , 5F033PP27 , 5F033PP28 , 5F033QQ08 , 5F033QQ09 , 5F033QQ11 , 5F033QQ13 , 5F033QQ19 , 5F033QQ34 , 5F033QQ54 , 5F033RR03 , 5F033RR04 , 5F033RR06 , 5F033RR21 , 5F033RR22 , 5F033SS00 , 5F033SS22 , 5F033SS26 , 5F110AA01 , 5F110AA30 , 5F110BB01 , 5F110CC07 , 5F110DD01 , 5F110DD13 , 5F110DD14 , 5F110DD24 , 5F110EE02 , 5F110EE03 , 5F110FF01 , 5F110FF02 , 5F110FF03 , 5F110GG01 , 5F110GG02 , 5F110GG03 , 5F110GG05 , 5F110GG13 , 5F110GG24 , 5F110GG26 , 5F110GG42 , 5F110GG43 , 5F110GG45 , 5F110GG58 , 5F110HK02 , 5F110HK03 , 5F110HK04 , 5F110HK07 , 5F110HK32 , 5F110HL01 , 5F110HL02 , 5F110HL03 , 5F110HL14 , 5F110HL22 , 5F110HM17 , 5F110NN02 , 5F110NN04 , 5F110NN27 , 5F110NN33 , 5F110NN71 , 5F110NN72 , 5F110PP03 , 5F110QQ01 , 5F110QQ06 , 5F110QQ08 , 5F110QQ12 , 5G435AA17 , 5G435BB05 , 5G435BB11 , 5G435CC09 , 5G435EE12 , 5G435FF08 , 5G435FF11 , 5G435FF14 , 5G435GG12 , 5G435HH02 , 5G435HH12 , 5G435HH13 , 5G435HH14 , 5G435HH18 , 5G435KK05 , 5G435LL04 , 5G435LL08 , 5G435LL14

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