特許

J-GLOBAL ID：201403062099336979

真空蒸着装置

発明者： 玉腰 武司 ,  三宅 竜也 ,  松浦 宏育 ,  峰川 英明 ,  楠 敏明 ,  山本 健一 ,  矢崎 秋夫 ,  尾方 智彦
出願人/特許権者： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
代理人 (1件)： ポレール特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-211852
公開番号（公開出願番号）：特開2014-065942
出願日： 2012年09月26日
公開日（公表日）： 2014年04月17日
要約：

【課題】複数個の膜厚センサのメンテナンスを容易にするとともに、タクトタイムを向上した真空蒸着装置を提供する。【解決手段】成膜材料を加熱して蒸発させる複数個の蒸発源3と、複数個の蒸発源のそれぞれによる成膜レートを検出する蒸発源と同数の第1センサ5と、第1センサよりも少ない個数の第2センサ6と、を備えた真空蒸着装置を用い、第2センサによって第1センサの補正を行う。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

成膜材料を加熱して蒸発させる複数個の蒸発源と、前記複数個の蒸発源のそれぞれによる成膜レートを検出する前記蒸発源と同数の第1センサと、前記第1センサよりも少ない個数の第2センサと、を備え、前記第2センサは、前記第1センサの補正をすることを特徴とする真空蒸着装置。

IPC (1件)：

C23C 14/24

FI (1件)：

C23C14/24 U

Fターム (5件)：

4K029AA24 ,  4K029CA01 ,  4K029DA03 ,  4K029DA12 ,  4K029DB14