特許
J-GLOBAL ID：201403062359854200
液中プラズマ処理装置および液中プラズマ処理方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
新居 広守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-286076
公開番号（公開出願番号）：特開2014-127705
出願日： 2012年12月27日
公開日（公表日）： 2014年07月07日
要約：
【課題】平面形状の対象物を効率的にプラズマ処理できる液中プラズマ処理装置を提供する。【解決手段】マイクロ波発生器11と、先端が前記液体22中に配置され、前記マイクロ波発生器から出力されたマイクロ波を前記先端まで伝搬させる導波管12と、前記導波管12の前記先端に配置され、前記マイクロ波を前記液体中に放射することにより、前記液体から気泡を発生させかつ発生した前記気泡中にプラズマを誘起させるスロットアンテナ15と、前記液体22中において前記ワーク21と前記スロットアンテナ15との間の距離を規定するスペーサー17とを備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
液体中に配置されるワークにプラズマ処理を施すための液中プラズマ処理装置であって、
マイクロ波発生器と、
先端が前記液体中に配置され、前記マイクロ波発生器から出力されたマイクロ波を前記先端まで伝搬させる導波管と、
前記導波管の前記先端に配置され、前記マイクロ波を前記液体中に放射することにより、前記液体から気泡を発生させかつ発生した前記気泡中にプラズマを誘起させるスロットアンテナと、
前記液体中において前記ワークと前記スロットアンテナとの間の距離を規定するスペーサーと
を備える液中プラズマ処理装置。
IPC (3件)：
H01L 21/306
, H05H 1/24
, B01J 19/08
H01L21/306 T
, H05H1/24
, B01J19/08 E
4G075AA30
, 4G075BA05
, 4G075CA48
, 4G075DA18
, 4G075EB41
, 4G075FA01
, 4G075FC11
, 5F043CC16
, 5F043DD04
, 5F043DD17
, 5F043EE40
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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