特許

J-GLOBAL ID：201403062520623532

合成ダイヤモンド材料を製造するためのマイクロ波プラズマ反応器

発明者： ブランドン ジョン ロバート ,  カレン アレクサンダー ラム ,  ウィリアムズ スティーブン ディヴィッド ,  ドッドソン ジョセフ マイケル ,  ウィルマン ジョナサン ジェイムズ ,  ワート クリストファー ジョン ハワード
出願人/特許権者： エレメント シックス リミテッド
代理人 (7件)： 辻居 幸一 ,  熊倉 禎男 ,  弟子丸 健 ,  井野 砂里 ,  松下 満 ,  倉澤 伊知郎 ,  渡邊 誠
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-545202
公開番号（公開出願番号）：特表2014-506292
出願日： 2011年12月14日
公開日（公表日）： 2014年03月13日
要約：

化学気相成長により合成ダイヤモンド材料を製造するマイクロ波プラズマ反応器であって、マイクロ波プラズマ反応器は、周波数fのマイクロ波を発生させるよう構成されたマイクロ波発生と、底部、頂板及び底部から頂板まで延びる側壁を備えていて、マイクロ波共振モードを支える空胴共振器を構成するプラズマチャンバとを含み、空胴共振器は、底部から頂板まで延びる中心対称回転軸線を有し、頂板は、中心対称回転軸線を横切って設けられ、マイクロ波プラズマ反応器は、マイクロ波発生器からのマイクロ波をプラズマチャンバ中に送り込むマイクロ波結合構造体と、プロセスガスをプラズマチャンバ中に送り込んでプロセスガスをプラズマチャンバから除去するガス流システムと、プラズマチャンバ内に設けられると共に使用中に合成ダイヤモンド材料を析出させるべき基板を支持する支持面を備えた基板ホルダとを更に含み、空胴共振器は、プラズマチャンバの底部から頂板まで測定して、底部を頂板との間で周波数fでTM011共振モードを支える高さを有するよう構成され、空胴共振器は、更に、底部から測定して空胴共振器の高さの50%未満の高さ位置で測定して、空胴共振器の高さと空胴共振器の直径の比が0.3〜1.0である条件を満たす直径を有するよう構成されている、マイクロ波プラズマ反応器。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

化学気相成長により合成ダイヤモンド材料を製造するマイクロ波プラズマ反応器であって、前記マイクロ波プラズマ反応器は、 周波数fのマイクロ波を発生させるよう構成されたマイクロ波発生器を含み、 底部、頂板及び前記底部から前記頂板まで延びる側壁を備えていて、マイクロ波共振モードを支える空胴共振器を構成するプラズマチャンバを含み、前記空胴共振器は、前記底部から前記頂板まで延びる中心対称回転軸線を有し、前記頂板は、前記中心対称回転軸線を横切って設けられ、 前記マイクロ波発生器からのマイクロ波を前記プラズマチャンバ中に送り込むマイクロ波結合構造体を含み、 プロセスガスを前記プラズマチャンバ中に送り込んで前記プロセスガスを前記プラズマチャンバから除去するガス流システムを含み、 前記プラズマチャンバ内に設けられると共に使用中に前記合成ダイヤモンド材料を析出させるべき基板を支持する支持面を備えた基板ホルダを含み、 前記空胴共振器は、前記プラズマチャンバの前記底部から前記頂板まで測定して、前記底部を前記頂板との間で前記周波数fにおいてTM011共振モードを支える高さを有するよう構成され、 前記空胴共振器は、更に、前記底部から測定して前記空胴共振器の前記高さの50%未満の高さ位置で測定して、前記空胴共振器の高さと前記空胴共振器の直径の比が0.3〜1.0である条件を満たす直径を有するよう構成されている、マイクロ波プラズマ反応器。

IPC (3件)：

C23C 16/511 ,  H05H 1/46 ,  C23C 16/27

FI (3件)：

C23C16/511 ,  H05H1/46 B ,  C23C16/27

Fターム (6件)：

4K030AA09 ,  4K030AA17 ,  4K030BA28 ,  4K030FA01 ,  4K030JA03 ,  4K030JA18

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 成膜又はエッチング装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-193558   出願人：住友電気工業株式会社
• マイクロ波プラズマ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-308650   出願人：新日本無線株式会社