特許

J-GLOBAL ID：201403062589681330

レーザー加工装置

発明者： 能丸 圭司
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (2件)： 小野 尚純 ,  奥貫 佐知子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-127865
公開番号（公開出願番号）：特開2013-252526
出願日： 2012年06月05日
公開日（公表日）： 2013年12月19日
要約：

【課題】被加工物の内部に2層の改質層を同時に形成でき、制御が容易なレーザー加工装置を提供する。【解決手段】チャックテーブルとレーザー光線照射手段5とを具備するレーザー加工装置であって、レーザー光線照射手段は、レーザー光線発振手段51と、レーザー光線を第1と第2の光路に分岐する分岐手段52と、第1と第2の光路にそれぞれ配設された第1と第2の光路手段53,54と、通過した第1と第2のレーザー光線を合流させて第3の光路に導く合流手段55と、第3の光路に配設された収差補正レンズ56と、第1と第2のレーザー光線とを集光して第1と第2の集光スポットとを生成する集光レンズ57と、合流手段を介して収差補正レンズに対して第1の光路手段を接近および離反させる第1の移動手段58と、合流手段を介して収差補正レンズに対して第2の光路手段を接近および離反させる第2の移動手段59とを具備している。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物にレーザー光線を照射するレーザー光線照射手段と、を具備するレーザー加工装置において、 該レーザー光線照射手段は、レーザー光線発振手段と、該レーザー光線発振手段が発振したレーザー光線を第1の光路と第2の光路に分岐する分岐手段と、該第1の光路に配設された第1の光路手段と、該第2の光路に配設された第2の光路手段と、該第1の光路手段を通過した第1のレーザー光線と該第2の光路手段を通過した第2のレーザー光線とを合流させて第3の光路に導く合流手段と、該第3の光路に配設された収差補正レンズと、該収差補正レンズを通過した該第1のレーザー光線と該第2のレーザー光線とを集光して第1の集光スポットと第2の集光スポットとを生成する集光レンズと、該合流手段を介して該収差補正レンズに対して該第1の光路手段を接近および離反させる第1の移動手段と、該合流手段を介して該収差補正レンズに対して該第2の光路手段を接近および離反させる第2の移動手段と、を具備し、 該第1の移動手段および該第2の移動手段により該第1の光路手段および該第2の光路手段を該収差補正レンズに対して接近および離反させることにより、該第1の集光スポットおよび該第2の集光スポットを該第3の光路に沿って移動せしめる、 ことを特徴とするレーザー加工装置。

IPC (4件)：

B23K 26/067 ,  B23K 26/06 ,  B23K 26/38 ,  B23K 26/40

FI (4件)：

B23K26/067 ,  B23K26/06 A ,  B23K26/38 320 ,  B23K26/40

Fターム (8件)：

4E068CA11 ,  4E068CA17 ,  4E068CB05 ,  4E068CD04 ,  4E068DA10 ,  4E068DB11 ,  4E068DB12 ,  4E068DB13