特許
J-GLOBAL ID：201403063470834916
微小構造物検出装置及び方法並びに検出用ディスク
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-022522
公開番号（公開出願番号）：特開2014-153165
出願日： 2013年02月07日
公開日（公表日）： 2014年08月25日
要約：
【課題】気体中あるいは液体中に含まれる微小構造物の検出、又は微小構造物の形状をより精度高く評価できる検出装置、検出方法及び検出に使用する検出用ディスクを提供する。【解決手段】基板上に薄膜層を備えるディスクの表面に、微小構造物を付着させ、検出光を走査して、複数のトラックにディスクの半径方向にわたって整列して形成されたマーカーと、前記薄膜層の表面に付着する微小構造物とからの検出信号を、複数トラックにわたり前記マーカーを基準として処理することにより、微小構造物の位置又は形状を検出する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
トラッキングをとるためのトラック構造を有する基板上に薄膜層を設けたディスクであって、
複数のトラックに、前記ディスクの半径方向にわたって整列する光読み取り可能なマーカーが形成され、
前記マーカーと、微小構造物が付着する前記薄膜層の表面とが、一の検出用光の焦点深度内に位置することを特徴とする微小構造物検出用ディスク。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (16件)：
2G059AA05
, 2G059BB09
, 2G059BB12
, 2G059CC16
, 2G059DD12
, 2G059EE01
, 2G059EE02
, 2G059FF01
, 2G059FF03
, 2G059FF12
, 2G059GG01
, 2G059HH01
, 2G059HH02
, 2G059HH03
, 2G059MM01
, 2G059MM10
