特許
J-GLOBAL ID：201403063608479829
波面計測装置、波面計測方法、光学素子の製造方法、光学素子の物理パラメータ計測方法、および、光学システムの組み立て調整装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
藤元 亮輔
, 水本 敦也
, 平山 倫也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-162704
公開番号（公開出願番号）：特開2014-021053
出願日： 2012年07月23日
公開日（公表日）： 2014年02月03日
要約：
【課題】簡易かつ短時間で波面計測が可能な波面計測装置を提供する。【解決手段】波面計測装置は、光学素子の透過波面または反射波面を計測する波面計測装置であって、レンズレットアレイおよびディテクタアレイを備え、第1の位置および第2の位置に配置可能なセンサと、センサから得られた強度信号に基づいて波面収差、任意の面での波面形状、複素振幅分布、光学素子の面形状の少なくとも一つを算出する信号処理部とを有し、信号処理部は、センサを第1の位置に配置して得られた第1の強度信号を用いて第1の波面を推定し、第1の波面を初期値とし、第1の波面とセンサを第2の位置に配置して得られた第2の強度信号とを用いて光伝搬計算を繰り返し行うことにより第2の波面を推定し、第2の波面を用いて、波面収差、任意の面での波面形状、複素振幅分布、光学素子の面形状の少なくとも一つを算出する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
光学素子の透過波面または反射波面を計測する波面計測装置であって、
レンズレットアレイおよびディテクタアレイを備え、第1の位置および第2の位置に配置可能なセンサと、
前記センサから得られた強度信号に基づいて波面収差、任意の面での波面形状、複素振幅分布、光学素子の面形状の少なくとも一つを算出する信号処理部と、を有し、
前記信号処理部は、
前記センサを前記第1の位置に配置して得られた第1の強度信号を用いて第1の波面を推定し、
前記第1の波面を初期値とし、該第1の波面と前記センサを前記第2の位置に配置して得られた第2の強度信号とを用いて光伝搬計算を繰り返し行うことにより第2の波面を推定し、
前記第2の波面を用いて、波面収差、任意の面での波面形状、複素振幅分布、光学素子の面形状の少なくとも一つを算出する、ことを特徴とする波面計測装置。
IPC (3件)：
G01M 11/02
, G01M 11/00
, G01J 9/00
G01M11/02 B
, G01M11/00 L
, G01J9/00
