特許
J-GLOBAL ID：201403063818304568
近接場散乱光測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
阿部 琢磨
, 黒岩 創吾
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-205920
公開番号（公開出願番号）：特開2014-059273
出願日： 2012年09月19日
公開日（公表日）： 2014年04月03日
要約：
【課題】長時間の測定において、散乱型近接場顕微鏡の測定データを安定的に取得することができ、S/N比の向上を図ることが可能となる近接場散乱光測定装置を提供する。【解決手段】近接場散乱光を試料の評価を行う検出手段で検出する近接場散乱光測定装置であって、 プローブを一定の周波数で振動させる励振機構と、近接場散乱光を補正信号として検出する検出器と、 測定部位近傍における光の照射位置とプローブの相対的位置とを補正するドリフト補正信号として、補正信号を入力信号とし、プローブの振動における周波数の2倍の周波数を参照信号としてロックイン検出により検出するドリフト補正信号検出手段と、 ドリフト補正信号検出手段によって検出された測定信号が最大となるように、測定部位近傍における光の照射位置とプローブの相対的位置とを補正するドリフト補正制御機構と、を有する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
プローブを備え、該プローブを試料の表面における測定部位近傍に近接させ、該測定部位近傍に光を照射することにより近接場散乱光を発生させ、該近接場散乱光を前記試料の評価を行う検出手段で検出する近接場散乱光測定装置であって、
前記プローブを一定の周波数で振動させる励振機構と、
前記近接場散乱光を補正信号として検出する検出器と、
前記測定部位近傍における光の照射位置と前記プローブの相対的位置とを補正するドリフト補正信号として、前記補正信号を入力信号とし、前記プローブの振動における周波数の2倍の周波数を参照信号としてロックイン検出によって検出するドリフト補正信号検出手段と、
前記ドリフト補正信号が最大となるように、前記測定部位近傍における光の照射位置と前記プローブの相対的位置とを補正するドリフト補正制御機構と、
を有することを特徴とする近接場散乱光測定装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
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