特許

J-GLOBAL ID：201403063974200047

ガラス基板搬送装置

発明者： 関口 真路
出願人/特許権者： 凸版印刷株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-146747
公開番号（公開出願番号）：特開2014-011296
出願日： 2012年06月29日
公開日（公表日）： 2014年01月20日
要約：

【課題】搬送装置を一時停止することなく、ガラス基板を搬送しながら表裏判別及び未処理ガラスの判別を行う機能を有するガラス基板搬送装置を提供する。【解決手段】表面と裏面の一方に導電膜が形成されたガラス基板を搬送しながら導電膜が形成されている面の判別を行なうガラス基板搬送装置であって、前記ガラス基板を載置する載置手段に、前記ガラス基板の裏面の導電膜を検出する電流導通検出部Aが設けられており、前記載置手段に載置されたガラス基板の表面に当接して、このガラス基板の表面の導電膜を検出する電流導通検出部Bが設けられていることを特徴とするガラス基板搬送装置。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

表面と裏面の一方に導電膜が形成されたガラス基板を搬送しながら導電膜が形成されている面の判別を行なうガラス基板搬送装置であって、 前記ガラス基板を載置する載置手段に、前記ガラス基板の裏面の導電膜を検出する電流導通検出部Aが設けられており、 前記載置手段に載置されたガラス基板の表面に当接して、このガラス基板の表面の導電膜を検出する電流導通検出部Bが設けられていることを特徴とするガラス基板搬送装置。

IPC (4件)：

H01L 21/677 ,  B65G 39/04 ,  B65G 13/04 ,  B65G 49/06

FI (4件)：

H01L21/68 A ,  B65G39/04 ,  B65G13/04 ,  B65G49/06 Z

Fターム (13件)：

3F033BB02 ,  3F033BC03 ,  3F033GA06 ,  3F033GB08 ,  5F131AA03 ,  5F131AA12 ,  5F131AA32 ,  5F131BA39 ,  5F131CA32 ,  5F131DA02 ,  5F131DA36 ,  5F131DB42 ,  5F131DC22