特許

J-GLOBAL ID：201403064029999493

加速度センサ

発明者： 今中 崇 ,  相澤 宏幸 ,  梅原 裕希
出願人/特許権者： パナソニック株式会社
代理人 (3件)： 内藤 浩樹 ,  藤井 兼太郎 ,  寺内 伊久郎
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2012000334
公開番号（公開出願番号）：WO2012-098901
出願日： 2012年01月20日
公開日（公表日）： 2012年07月26日
要約：

加速度センサは、内部に中空領域が形成された枠部と、枠部から中空領域に延伸した4つの梁部と、4つの梁部の他端にそれぞれ接続された4つの錘部と、4つの梁部にそれぞれ設けられた4つの検出部とを備える。2つの梁部の一端は、中空領域を挟んで互いに反対側の部分にそれぞれ接続されている。2つの錘部は中空領域の中心部を挟んで対向する。他の2つの梁部の一端は、中空領域を挟んで互いに反対側の部分にそれぞれ接続されている。他の2つの錘部と中空領域の中心部を挟んで対向する。この加速度センサは、感度ばらつきを抑制し、また、感度の経時変化を抑制することができる。

請求項（抜粋）：

内部に中空領域が形成された枠部と、 前記枠部に接続された一端と、前記一端の反対側の他端とをそれぞれ有し、前記中空領域に延伸した第1、第2、第3、第4の梁部と、 前記第1、第2、第3、第4の梁部の前記他端にそれぞれ接続された第1、第2、第3、第4の錘部と、 前記第1、第2、第3、第4の梁部にそれぞれ設けられた第1、第2、第3、第4の検出部と、 を備え、 前記第1の梁部と前記第2の梁部の前記一端は、前記中空領域を挟んで互いに反対側の部分にそれぞれ接続され、 前記第1の錘部と前記第2の錘部とは前記中空領域の中心部を挟んで対向し、 前記第3の梁部と前記第4の梁部の前記一端は、前記中空領域を挟んで互いに反対側の部分にそれぞれ接続され、 前記第3の錘部と前記第4の錘部とは前記中空領域の前記中心部を挟んで対向した、加速度センサ。

IPC (3件)：

G01P 15/18 ,  G01P 15/12 ,  H01L 29/84

FI (3件)：

G01P15/00 K ,  G01P15/12 D ,  H01L29/84 A

Fターム (21件)：

4M112AA02 ,  4M112BA01 ,  4M112CA21 ,  4M112CA22 ,  4M112CA24 ,  4M112CA26 ,  4M112CA29 ,  4M112CA31 ,  4M112CA32 ,  4M112CA33 ,  4M112DA13 ,  4M112DA18 ,  4M112EA03 ,  4M112EA06 ,  4M112EA11 ,  4M112EA12 ,  4M112EA13 ,  4M112EA14 ,  4M112FA01 ,  4M112FA05 ,  4M112FA06