特許

J-GLOBAL ID：201403064215873742

静電チャック装置

発明者： 三浦 幸夫 ,  前田 進一 ,  佐藤 隆 ,  古内 圭
出願人/特許権者： 住友大阪セメント株式会社
代理人 (5件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  渡邊 隆 ,  鈴木 三義 ,  村山 靖彦
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2012057483
公開番号（公開出願番号）：WO2012-128348
出願日： 2012年03月23日
公開日（公表日）： 2012年09月27日
要約：

本発明の静電チャック装置(1)は、板状試料を載置する載置面として一主面を有するとともに静電吸着用内部電極を内蔵してなる静電チャック部(2)と、前記静電チャック部(2)を冷却する冷却ベース部(3)とを備え、前記静電チャック部(2)の前記載置面と反対側の主面には、第1の接着材層(4)を介して加熱部材(5)が接着され、前記静電チャック部(2)及び前記加熱部材(5)と、前記冷却ベース部(3)とは、柔軟性及び絶縁性を有するアクリル系接着剤層(9)を介して接着一体化されている。

請求項（抜粋）：

板状試料を載置する載置面として一主面を有するとともに静電吸着用内部電極を内蔵してなる静電チャック部と、 前記静電チャック部を冷却する冷却ベース部とを備え、 前記静電チャック部の前記載置面と反対側の主面には、第1の接着材層を介して加熱部材が接着され、 前記静電チャック部及び前記加熱部材と、前記冷却ベース部とは、柔軟性及び絶縁性を有するアクリル系接着剤層を介して接着一体化されている静電チャック装置。

IPC (3件)：

H01L 21/683 ,  H01L 21/306 ,  H02N 13/00

FI (3件)：

H01L21/68 R ,  H01L21/302 101G ,  H02N13/00 D

Fターム (15件)：

5F004BB22 ,  5F004BB25 ,  5F004BB26 ,  5F004BB29 ,  5F131AA02 ,  5F131BA19 ,  5F131CA68 ,  5F131EB11 ,  5F131EB14 ,  5F131EB22 ,  5F131EB54 ,  5F131EB78 ,  5F131EB79 ,  5F131EB81 ,  5F131EB82